排气单元 VFR-200M/X
ULVAC KIKO
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在管架上紧密安装了主泵、辅助泵、电力系统、压力测量口等必要机器的小型高真空排气装置。
DEPOX系列有不同排气系统构造的4个类型。
使用简单、最适合用于实验。
DEPOX系列有不同排气系统构造的4个类型。
使用简单、最适合用于实验。
特長
- 可以在不停止主泵的情况下打开真空室。
- 使用三通阀，组件更少，维修更容易。
- 真空计等配件可以存放在同一个架台上。
- 空冷型，不需要冷却水。
- 带有轮子，易于移动。
- 配有调节器，可以确保安装的安全性。
规格
| 型号 | VPC-053 |
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极限压力
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7.0×10-４Pa 1.5×10-４Pa（使用液氮时） |
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主泵
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油扩散泵（空冷） 50 L/sec |
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辅助泵
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油回转真空泵 20 L/min |
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メイン阀门
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25A蝶阀 |
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辅助阀门
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三通阀 |
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吸气口
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VG-25 |
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重量
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20kg |
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最大尺寸 （W×D×H）
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350mm(W)×320mm(D)×461mm(H) |
※电离真空计・皮拉尼真空计・液氮阱・吸气法兰・油雾阱可选
效用
| 型号 | VPC-051 |
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所需电力
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单相 100V 0.63kVA |
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接地端子
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Ｄ种 （接地电阻值／100MΩ以下） |
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安装
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乙烯基电缆（带插头） 2m |
油扩撒泵
| 型 式 | DPF-200 |
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极限压力
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10-5Pa |
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最大排气速度
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200L/sec |
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临界背压
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20Pa |
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所要電力
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单相 100V 0.45kW |
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使用油
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SX 70cc |
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质量
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5kg |
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吸气法兰
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VG-65 |
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排气管
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Φ27mm |
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冷却方式
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空冷 |
尺寸图
排气系统图
