低温泵 CRYO-U22H
ULVAC CRYOGENICS
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关于CRYO-U22H的介绍、购买、商讨
CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同，从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。
特点
- 特别适用于大型成膜设备。
- 水的排气速度最高。
标准规格
| 排气速度(20℃) | 氮 | L/s | 17,000 |
| 氢 | 25,000 | ||
| 氩 | 14,000 | ||
| 水 | 39,000 | ||
| 极限压力 | Pa(Torr) | 10-7 (10-9) | |
| 最大流量 | 氩 | Pa・L/s(Torr・L/s) | 4.1×103 (31) |
| 排气容量 | 氩 | Pa・L(Torr・L) | 8.1×108 (6.1×106) |
| 氢 | 8.5×106 (6.4×104) | ||
| 冷却下降时间(动力循环) | min(Hz) | 150/135 (50/60) | |
| 吸气口法兰 | VG-550 | ||
| 压缩机组 | C30VRT×2 | ||
| 重量 | Kg | 125.0 | |
*保养周期：16,000小时
U22H,U30H fall under category of export contol products
Corresponds to export control product suach as strategic time
Please take nessecary procedure for Export permisson from Japan goverment
外形尺寸 (单位:mm)
