油扩散泵 Model:BW-22

ULVAC

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抑制从油扩散泵向吸气侧的油蒸气的逆流。

特点

保护真空容器内部免受油扩散泵的油雾污染。
最大限度地减少排气阻力。
通过设适配器，BW-04B和BW-06B可以进一步抑制油蒸汽的逆流。

规格

型号		BW-02	BW-04B	BW-06B	BW-10	BW-14	BW-20	BW-22	BW-36	BW-52
电导率[L/sec]		100	940	2200	3130	5000	13000	14000	54000	75000
外部尺寸[mm]	D	Φ120	Φ149	Φ199	Φ350	Φ450	Φ625	Φ680	Φ1065	Φ1480
	T	16	28	28	44	50	152	101	113	165
	t	16	25	25	22	22	24	26	28	35
冷却水取合（尺寸）		Rc 1/8	Rc 1/4	Rc 1/4	Rc 1/4	Rc 3/8	Rc 3/8	Rc 3/8	Rc 3/8	Rc 1/2
冷却水量[L/min]		1.5	0.7	1	2	2	3	3	5	5
重量[kg]		1	1.3	1.7	7.6	11	22	28	66	200

油扩散泵

Model:BW-22

ULVAC

SHOWCASE

抑制从油扩散泵向吸气侧的油蒸气的逆流。

特点

保护真空容器内部免受油扩散泵的油雾污染。
最大限度地减少排气阻力。
通过设适配器，BW-04B和BW-06B可以进一步抑制油蒸汽的逆流。

规格

型号		BW-02	BW-04B	BW-06B	BW-10	BW-14	BW-20	BW-22	BW-36	BW-52
电导率[L/sec]		100	940	2200	3130	5000	13000	14000	54000	75000
外部尺寸[mm]	D	Φ120	Φ149	Φ199	Φ350	Φ450	Φ625	Φ680	Φ1065	Φ1480
	T	16	28	28	44	50	152	101	113	165
	t	16	25	25	22	22	24	26	28	35
冷却水取合（尺寸）		Rc 1/8	Rc 1/4	Rc 1/4	Rc 1/4	Rc 3/8	Rc 3/8	Rc 3/8	Rc 3/8	Rc 1/2
冷却水量[L/min]		1.5	0.7	1	2	2	3	3	5	5
重量[kg]		1	1.3	1.7	7.6	11	22	28	66	200