低温泵 CRYO-U6H
ULVAC CRYOGENICS
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关于CRYO-U6H的介绍、购买、商讨
CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同，从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。
特点
- 轻量・紧凑、标准尺寸最小的泵
- 适用于实验室和研究室的小型真空设备。
- 可以多台运行（最多3台）
- 可以达到超高真空（10-8Pa以下）
标准规格
| 排气速度(20℃) | 氮 | L/s | 750 |
| 氢 | 1,100 | ||
| 氩 | 620 | ||
| 水 | 2,100 | ||
| 极限压力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | 氩 | Pa・L/s(Torr・L/s) | 1.1×103(7.9) |
| 排气容量 | 氩 | Pa・L(Torr・L) | 5.6×107(4.2×105) |
| 氢 | 3.1×105(2.3×103) | ||
| 冷却下降时间(动力循环) | min(Hz) | 80/70(50/60) | |
| 吸气口法兰 | UVG-150,UFC-203 | ||
| 压缩机组 | C10T,C10AT | ||
| 重量 | Kg | 19 | |
*维护周期：16,000小时
外形尺寸 (单位:mm)
