涡轮分子泵 UTM-MI

ULVAC

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采用磁浮轴承控制器一体型涡轮分子泵。通过泵的本体和控制器一体化，实现了省配线，省空间。

特点

泵体和控制器一体化
泵体和控制器之间不需要复杂的布线工作。
安装方向自由
安装方向没有限制，扩展了设备设计的自由度。
广域大流量设计，适用于轻工艺
泵速可以在25％至100％的范围内变化，腔室的压力可以调节。
高耐久性和安全性
已经通过各种安全确认测试，例如空气冲击测试和触地测试。

用途

各种设备的主真空排气系统
・半导体制造设备
・蒸发设备
・溅射设备
・分析设备
・实验设备等
・研究开发设备
不会生成副反应物的轻工艺的主排气系统
替换设备上的有扩散泵
其他一般高真空排气用途

规格

型号

UTM1200A

UTM1600A

UTM2300A

UTM3400A

吸气口

VG
150

ISO
160F

VG
200

VG
250

ISO
200F

ISO
250F

VG
250

ISO
250F

VG
300

VG
350

ISO
320F

排气口

KF40

极限压力 *1

10^-7 Pa

排气速度 *2*3

1030 L/s

1400 L/s

2100 L/s

3200 L/s

980 L/s

1330 L/s

2000 L/s

3100 L/s

660 L/s

750 L/s

1380 L/s

2100 L/s

压缩比

2×10⁸

≧ 1×10⁸

≧ 1×10⁹

7×10³

5×10³

1×10⁵

8×10²

9×10²

6×10³

最大吸气口圧力 *4

26 Pa

4.5 Pa

7 Pa

最大排气口压力 *4

266 Pa

200 Pa

270 Pa

旋转数

37200 min-1

33700 min-1

27600 min-1

旋转数可変功能

泵的运转旋转数可以在规定旋转数的25％～100％之间变化。（设定单位为0.1％）　

启动时间

8分以内

9分以内

16分以内

安装方向

可全方位安装

表面处理 *5

无

外部控制

远程接口

D-sub25内针接点入输出

D-sub37内针接点入输出

串联接口

D-sub9外针 RS232C/RS485

控制器

构成

与泵的本体一体化（内置于底部）

电源

单相AC200 ～240V ±10%（50/60Hz ±2Hz）

最大所要动力

0.75kVA

1.2kVA

冷却方式

水冷

冷却水 *6

流量

3～4 L/min

水圧

0.2 ～ 0.4M PaG

噪音

57 dB(A)

60 dB(A)

质量

43 kg

41 kg

56 kg

94 kg

推荐辅助泵 *7

600L/min以上

1500L/min以上

符合标准

CE、TUVus

标准配件

吸气口用O-ring（仅VG），排气口用防尘罩，远程控制用连接器，使用说明书（CD-ROM)　

选择规格

A流量

AC连接器/AC电线（5m/10m/15m/20m）

泵固定用特殊螺栓

M10/ M12

泵固定用特殊螺栓要否

要(M10) *8

不要 *8

选项品

气口用适配器：KF10

*1：顺序表示。
*2：在没有保护网时的值。　
*3：UTM2300A和UTM3400A为计算值。　　
*4：不能同时满足最大吸气口压力和最大排气口压力的条件。
*5：请勿使用反应性气体，腐蚀性气体。关于气体气体请咨询我们。　　
*6：不结露。　
*7：30SCCM吸引时。　
*8：螺栓的强度和固定方法等的各种条件，详细信息请参照规格书。

尺寸图

Dimensions

(mm)

		A	B	C	D	E
UTM1200A	VG150	235	439	218	-	285
UTM1200A	ISO160F	225	442	218	-	285
UTM1600A	VG200	300	374	218	-	285
	ISO200F	285	374	218	-	285
	VG250	350	374	218	-	285
	ISO250F	335	374	218	-	285
UTM2300A	VG250	350	376	233	245	310
UTM2300A	ISO250F	335	376	233	245	310
UTM3400A	VG300	400	462	233	245	360
	VG350	450	462	233	245	360
	ISO320F	425	467	233	245	360

Note)The position and phase of outlet, gas purge port,
　　 cooling water valve and cooling water valve connector are different to types.
　　 Please contact us for the details information.

特点

泵体和控制器一体化
泵体和控制器之间不需要复杂的布线工作。

安装方向自由
安装方向没有限制，扩展了设备设计的自由度。

广域大流量设计，适用于轻工艺

泵速可以在25％至100％的范围内变化，腔室的压力可以调节。

高耐久性和安全性
已经通过各种安全确认测试，例如空气冲击测试和触地测试。

规格

型号

UTM1200A

UTM1600A

UTM2300A

UTM3400A

吸气口

VG
150

ISO
160F

VG
200

VG
250

ISO
200F

ISO
250F

VG
250

ISO
250F

VG
300

VG
350

ISO
320F

排气口

KF40

极限压力 *1

10^-7 Pa

排气速度 *2*3

1030 L/s

1400 L/s

2100 L/s

3200 L/s

980 L/s

1330 L/s

2000 L/s

3100 L/s

660 L/s

750 L/s

1380 L/s

2100 L/s

压缩比

2×10⁸

≧ 1×10⁸

≧ 1×10⁹

7×10³

5×10³

1×10⁵

8×10²

9×10²

6×10³

最大吸气口圧力 *4

26 Pa

4.5 Pa

7 Pa

最大排气口压力 *4

266 Pa

200 Pa

270 Pa

旋转数

37200 min-1

33700 min-1

27600 min-1

旋转数可変功能

泵的运转旋转数可以在规定旋转数的25％～100％之间变化。（设定单位为0.1％）　

启动时间

8分以内

9分以内

16分以内

安装方向

可全方位安装

表面处理 *5

无

外部控制

远程接口

D-sub25内针接点入输出

D-sub37内针接点入输出

串联接口

D-sub9外针 RS232C/RS485

控制器

构成

与泵的本体一体化（内置于底部）

电源

单相AC200 ～240V ±10%（50/60Hz ±2Hz）

最大所要动力

0.75kVA

1.2kVA

冷却方式

水冷

冷却水 *6

流量

3～4 L/min

水圧

0.2 ～ 0.4M PaG

噪音

57 dB(A)

60 dB(A)

质量

43 kg

41 kg

56 kg

94 kg

推荐辅助泵 *7

600L/min以上

1500L/min以上

符合标准

CE、TUVus

标准配件

吸气口用O-ring（仅VG），排气口用防尘罩，远程控制用连接器，使用说明书（CD-ROM)　

选择规格

A流量

AC连接器/AC电线（5m/10m/15m/20m）

泵固定用特殊螺栓

M10/ M12

泵固定用特殊螺栓要否

要(M10) *8

不要 *8

选项品

气口用适配器：KF10

尺寸图

Dimensions

(mm)

		A	B	C	D	E
UTM1200A	VG150	235	439	218	-	285
UTM1200A	ISO160F	225	442	218	-	285
UTM1600A	VG200	300	374	218	-	285
	ISO200F	285	374	218	-	285
	VG250	350	374	218	-	285
	ISO250F	335	374	218	-	285
UTM2300A	VG250	350	376	233	245	310
UTM2300A	ISO250F	335	376	233	245	310
UTM3400A	VG300	400	462	233	245	360
	VG350	450	462	233	245	360
	ISO320F	425	467	233	245	360

Note)The position and phase of outlet, gas purge port,
　　 cooling water valve and cooling water valve connector are different to types.
　　 Please contact us for the details information.