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涡轮分子泵

关于涡轮分子泵的介绍、购买、商讨

涡轮分子泵是实现高真空环境的重要设备,广泛应用于半导体制造和研究设施中。该泵通过高速移动分子来高效地生成真空。

涡轮分子泵由高速旋转的转子和固定的定子组成。转子的叶片与分子碰撞,将分子加速向排气口,从而产生真空。这个过程利用了分子的动能,非常高效。

与其他真空泵相比,涡轮分子泵具有极高的排气速度,能够快速建立真空环境。此外,由于不使用油,它能提供清洁的真空环境,非常适合半导体制造等精密工作。涡轮分子泵还具有从低真空到超高真空的广泛适用性,被广泛应用于各种工业和研究领域。


涡轮分子泵

UTM-MS


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涡轮分子泵,带有使用磁悬浮轴承的独立控制器。我们有抽速为300~4000 L/s 的型号阵容。控制器单元可以监控运行状态并支持各种通信标准。


涡轮分子泵

YTP70A

搭载陶瓷球轴承型涡轮分子泵,是一款台式高真空排气单元。
考虑到在台面上使用的环境,降低了动作时的运转声音、振动。
此外,机器操作为触摸屏式,可通过简单易懂的显示图标简单操作。

涡轮分子泵

YTPーB

YTP系列Ver.B是搭载陶瓷球轴承型涡轮分子泵的高真空排气单元。
可实现从大气压到高真空的排气。
产品阵容中既有可通过START/STOP开关自动排气的SA型,也有手动操作的M型。
此外,辅助泵的标准规格为油回转泵,也可选择干式涡旋泵的干式规格。

涡轮分子泵

UTM-B

采用陶瓷轴承的复合翼型涡轮分子泵。通过泵的本体和控制器一体化,实现了省空间。出色的高背压特性使辅助泵的小型化成为可能。

涡轮分子泵

UTM-MI

采用磁浮轴承控制器一体型涡轮分子泵。通过泵的本体和控制器一体化,实现了省配线,省空间。

涡轮分子泵

VPT-060

在架台上紧密集成了涡轮分子泵、干泵、阀门配管、电气系统等必要设备,是干燥型小型的高真空排气装置。
最适合于半导体、分析、检查、理化、制药等各领域的洁净真空环境。

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