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涡轮分子泵 VPT-060

ULVAC

关于VPT-060的介绍、购买、商讨

在架台上紧密集成了涡轮分子泵、干泵、阀门配管、电气系统等必要设备,是干燥型小型的高真空排气装置。
最适合于半导体、分析、检查、理化、制药等各领域的洁净真空环境。

特点

  • 完全干燥的排气装置。
  • 安装空间紧凑。

规格

50Hz 60Hz
极限压力 10-5 Pa
重量 17 kg
吸气口 ISO63(选购配件:KF-40)
环境温度 8~38 ℃
最大尺寸 340 mm(W) × 340 mm(L) × 355 mm(H)
RoHS指令
*电离真空计・皮拉尼真空计・配管部品可选。
*根据使用条件,性能可能会降低。

尺寸图

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