低温泵 CRYO-U8HL
ULVAC CRYOGENICS
关于CRYO-U8HL的介绍、购买、商讨
CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同，从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。
特点
- 与CTI低温泵CT-8完全可互换。
- 氢气排放特性优于CT-8
- 可以多台运作（最多3台）。
标准规格
| 排气速度(20℃) | 氮 | L/s | 1,700 |
| 氢 | 2,700 | ||
| 氩 | 1,400 | ||
| 水 | 4,000 | ||
| 极限压力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | 氩 | Pa・L/s(Torr・L/s) | 1.2×103(8.9) |
| 排气容量 | 氩 | Pa・L(Torr・L) | 1.0×108(7.6×105) |
| 氢 | 1.0×106(7.6×103) | ||
| 冷却下降时间 (动力循环) |
min(Hz) | 100/90(50/60) | |
| 吸气口法兰 | UVG-200,6BANSI,UFC-253 | ||
| 压缩机组 | C10T,C10AT | ||
| 重量 | Kg | 20.8 | |
*维护周期：16,000小时
