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校正漏孔

校正漏孔(薄膜型)

CLM

アルバック

这是利用氦气透过玻璃 (透过材料) 的校正漏孔。(真空法校正)

规格

型号 泄露量 充气压力 接头
CLM-07AY 10-7Pa・m3/s台 261kPa(abs) Φ18mm pipe(with manual valve)
CLM-08A 10-8Pa・m3/s台 251kPa(abs)
CLM-09AZ 10-9Pa・m3/s台 261kPa(abs)
CLM-10A 10-10Pa・m3/s台 101kPa(abs)

HELIOT中内置的校正漏孔

型号 泄露量 封入圧力 适用机型
CLM-08E 10ー8Pa・m3/s台 251kPa(abs) HELIOT710,700,300series
CLM-08F 10-8Pa・m3/s台 251kPa(abs) HELIOT900series

尺寸图

CLM-08A, CLM-09AZ, CLM-10A
CLM-08ACLM-09AZCLM-10A.png

CLM-07AY

CLM-07AY.png

CLM-08F

CLM-08F.png

CLM-08E

CLM-08E.png

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