选型

校正漏孔(薄膜型)

CLM-10A

アルバック

薄膜型校正漏孔。
在充满了氦气的容器的中心部分内置玻璃管(透过材料),利用氦气透过那个玻璃管的校正漏孔。

规格

品名 薄膜型校正漏孔 泄露量 封入圧力
型号 CLM-07AY 10-7Pa・m3/s台 261kPa(abs)※1
CLM-07V
CLM-08A 10-8Pa・m3/s台 251kPa(abs)※1
CLM-08C
CLM-08D
CLM-08E
CLM-08F
CLM-08V
CLM-09AZ 10n-9Pa・m3/s台 261kPa(abs)※1
CLM-10A 10-10Pa・m3/s台 101kPa(abs)※1

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