脉冲和直流电源系统
直流脉冲电源_DC PULSE系列
脉冲和直流电源系统
直流脉冲电源_DC PULSE系列の導入・購入・検討について
DC PULSE系列是针对金属薄膜沉积和反应溅射工艺的理想DC脉冲电源。该系列通过在设定的周期内反转输出电压，有效消除靶材表面的电荷积累（充电效应），从而抑制异常放电现象。这一功能有助于提高良品率和生产效率。
除了连续脉冲输出模式外，该系列还配备了可作为直流电源（DC电源）使用的模式，用户可以根据工艺需求选择最合适的使用方式。DC PULSE系列兼具高灵活性和高性能，能够最大限度地提升薄膜沉积工艺的效率。
直流脉冲电源_DC PULSE系列
DC PULSE 系列
DC PULSE 系列是一种脉冲电源，可有效抑制无功过程中发生的异常放电。
该电源在设定的周期内反转输出电压，并抵消目标表面的电荷积累（充电），从而抑制异常放电并提高良率和吞吐量。