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脉冲和直流电源系统
直流脉冲电源_DC PULSE系列

脉冲和直流电源系统
直流脉冲电源_DC PULSE系列の導入・購入・検討について

DC PULSE系列是针对金属薄膜沉积和反应溅射工艺的理想DC脉冲电源。该系列通过在设定的周期内反转输出电压,有效消除靶材表面的电荷积累(充电效应),从而抑制异常放电现象。这一功能有助于提高良品率和生产效率。

除了连续脉冲输出模式外,该系列还配备了可作为直流电源(DC电源)使用的模式,用户可以根据工艺需求选择最合适的使用方式。DC PULSE系列兼具高灵活性和高性能,能够最大限度地提升薄膜沉积工艺的效率。

直流脉冲电源_DC PULSE系列

DC PULSE 系列

DC PULSE 系列是一种脉冲电源,可有效抑制无功过程中发生的异常放电。
该电源在设定的周期内反转输出电压,并抵消目标表面的电荷积累(充电),从而抑制异常放电并提高良率和吞吐量。

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