高频电源系统
内置匹配器_高频电源_RMG
RMG-1303
アルバック
RMG-1303 是一款 13.56MHz、300W 射频电源，内置输出匹配器，适用于射频溅射和等离子 CVD 蚀刻等等离子体工艺。 匹配器和射频电源的集成使其更小、更轻。 它可以从低输出进行控制，并且可以用于广泛的领域，从研发应用到批量生产设备。
特点
- 功率低至1W即可控制
- 标配 500Hz~100kHz 脉冲射频输出功能 能够以低输出功率进行控制
- 标配外部同步引脚
- 单相100V~220V / 50Hz~60Hz输入范围广
- 200mm×200mm×350mm/10kg，小巧轻便的电源
- 符合CE、KC、SEMI F47、SEMI S2、RoHS标准
规格
| 型式 | RMG-1303 | |
| 电源功能部分 | 输入电压 | AC100V～220V(单相的50Hz～60Hz) |
| 额定输入容量 | 700VA 或更低 | |
| 振荡频率 | 13.56MHz±0.01% *1 | |
| 额定行波功率 | 300W (50Ω负载下) | |
| 匹配函数部分 | 额定功率 | 300W |
| 额定电流 | 10Arms | |
| 额定电压 | 2500Vpp/-2500Vdc(标准) *1 | |
| 输出电极/选项 | 2-M4(标准)/N,HN,DIN7/16 *2 | |
| 公共部分 | 冷却方式 | 风扇强制风冷 |
| 外形尺寸（W×D×H） 不包含突起 | 200×350×200（mm） | |
| 质量 | 约10kg | |
| 法规遵从性 | CE、KC、SEMI F47、SEMI S2、RoHS（欧洲） | |
*1 额定电压可作为选项进行更改。
*2 可以选择更改为连接器输出类型。
