最适合用于有机EL蒸发设备的过程管理
基础工艺 Model:BGM2-201 / 202
ULVAC
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ULVAC的新型残留气体分析仪(RGA)，革命性的简单易操作。它是响应各种生产线设备技术的要求而出现的工艺监控器的新标准。最适合真空蒸发装置和各种真空炉的设备管理。
特点
- 性价比优异的通用规格
- 测量质量范围 1～200 amu
- 显示部分一体化设计・・・无需电脑也可进行测量
- 操作简单 - One Click机能・・・对每个人来说都很容易，不需要复杂的操作
- 增强检漏功能
- 可以测量总压力
- 标准搭载Qulee QCS软件
- 符合CE
用途
- 真空蒸发设备和溅射设备等成膜设备的残留气体分析
- 高真空排气设备的残留气体分析
- 冷冻干燥设备的残留气体分析
- 研究开发用途的各种气体分析
规格
Resolution M/△M=1M(10% P.H.)
| Model | BGM2-101 | BGM2-201 | BGM2-102 | BGM2-202 |
| Mass filter type | Quadrupole | |||
| Mass range | 1～100 amu | 1～200 amu | 1～100 amu | 1～200 amu |
| Detector type | Faraday cup | EM tube Faraday cup |
||
| Sensitivity | 10-7A/Pa | 4A/Pa | ||
| Minimum detectable partial pressure | 10-8Pa | 10-12Pa | ||
| Maximum operating pressure | 1x10-2Pa | |||
| Total pressure function | Capable/10-2 〜10-5Pa | |||
| One Click function | Capable /He/H2O/N2/O2/Any gas | |||
| One Click leak test function | Capable | |||
| Power input | DC24V±10％ 50W | |||
| Maximum sensor operating temperature | 120℃ (248℉ ) | |||
| Maximum bakeout temperature (electronics removed) | 250℃ (482℉) | |||
| Operating temperature range | 10 to 40℃ (50 to 104℉ ) | |||
| Software | Qulee QCS Ver.4.2以降（Windows 8/10/11）适用 | |||
| Applicable standard | CE | |||
