最适合用于溅射设备的过程管理（残留水分、不纯物、泄漏监控）
溅射工艺 Model:CGM2-051 / 052
ULVAC
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新型工艺气体分析仪(RGA)，实现了高压下(1Pa以下)的高精度、高分辨率以及革命性的简单易操作性。来自不同生产线的设备工程师的反馈被纳入产品的设计中，最适合溅射设备的工艺管理（提高品质、提高良率）。
特点
- 适用于各种溅射系统的工艺监控
- Air Leak监控
- 残留水分管理
- 无需差动排气系统（less than 1 Pa at 7.5 x 10-3Torr/1 x 10-2 mbar）
- 内置显示屏：无需PC可单独操作使用
- 可进行高灵敏度泄漏测试（CGM2-052）
- 可进行全压测定
- 操作简单-One Click功能
- 标配Qulee QCS软件
- 支持CE标准
用途
- 适用于溅射设备的残余气体分析、工艺监控和杂质管理(H2O)。
- 用于溅射设备的泄漏测试。
规格
分解能
M/△M=1M(10% P.H.)
| 型号 | CGM-051 | CGM2-101 | CGM-052 | CGM2-102 |
| 质量分离方式 | 四极型质量分析仪 | |||
| 质量数范围 | 1～50 amu | 1～100 amu | 1～50 amu | 1～100 amu |
| 检出器 | 法拉第杯 | 二级电子倍增管／法拉第杯 | ||
| 感度 | 0.1uA/Pa | 0.1mA/Pa | ||
| 最小检知分圧 | 1x10-7Pa | 1x10-10Pa | ||
| 最大使用圧力 | 2Pa | 2Pa(FC)1x10-2Pa(SEM) | ||
| 线性 | 1Pa | |||
| 全压力测量功能 | 有 | |||
| Degas function | Electron bombard type 300V, 5mA | |||
| 一键检漏功能 | 有 / He / H2O / N2 / O2 / Any gas | |||
| 电源电压 | DC24V±10％ 50W | |||
| 最大烘烤可能温度 (传感器单元连接时) |
120℃ | |||
| 最大烘烤可能温度 (传感器单元移除时) |
250℃ | |||
| 使用温度范围 | 10～40℃ | |||
| 接口 | Ethernet | |||
| 软件 | Qulee QCS Ver.4.2以降（Windows 8/10/11）适用 | |||
| 符合标准 | CE | |||
