RF电源选配件
EXO 系列
アルバック
该装置是高频电源的外部振荡源 。额定信号可以在13.56MHz的单频下输出。
另外，本装置还配备了1～4个BNC输出端口，最多可同步4台电源进行同相的高频振荡。
※ 连接电源外部输入端子应为50Ω，10mW以上100mW以下即可工作。
| 型号 | EXO-13 | |
| 输入规格 | 输入电压 | 单相 AC90～110V |
| 输入容量 | 10VA以下 | |
| 输出规格 | 振荡频率 | 13.56MHz±0.05% |
| 外形尺寸 W×D×H | 145×110×44mm （不包含凸起部分） | |
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ULVAC SHOWCASE
该装置是高频电源的外部振荡源 。额定信号可以在13.56MHz的单频下输出。
另外，本装置还配备了1～4个BNC输出端口，最多可同步4台电源进行同相的高频振荡。
※ 连接电源外部输入端子应为50Ω，10mW以上100mW以下即可工作。
| 型号 | EXO-13 | |
| 输入规格 | 输入电压 | 单相 AC90～110V |
| 输入容量 | 10VA以下 | |
| 输出规格 | 振荡频率 | 13.56MHz±0.05% |
| 外形尺寸 W×D×H | 145×110×44mm （不包含凸起部分） | |
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