RF电源选配件
PHS-N 系列
ULVAC
该系统是为射频溅射、等离子体CVD、刻蚀等等离子产生用电源的相位调整而设计的。
本系统可控制在13.56MHz运行的多台RF电源的输出相位 。
| 型号 | PHS-04N | PHS-08N | |
| 输入规格 | 输出电压 | 单相 AC90～240V | |
| 输入容量 | 70VA | ||
| 输出规格 | 输出通道数 | 4 | 8 |
| 振荡频率 | 13.56MHz±0.05% | ||
| 相位设定范围 | 0～360° | ||
| 外形尺寸 W×D×H | 480×192×49mm （不包含凸起部分） | ||
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ULVAC SHOWCASE
该系统是为射频溅射、等离子体CVD、刻蚀等等离子产生用电源的相位调整而设计的。
本系统可控制在13.56MHz运行的多台RF电源的输出相位 。
| 型号 | PHS-04N | PHS-08N | |
| 输入规格 | 输出电压 | 单相 AC90～240V | |
| 输入容量 | 70VA | ||
| 输出规格 | 输出通道数 | 4 | 8 |
| 振荡频率 | 13.56MHz±0.05% | ||
| 相位设定范围 | 0～360° | ||
| 外形尺寸 W×D×H | 480×192×49mm （不包含凸起部分） | ||
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