热阴极电离真空计

传感器型

SH200 系列

SH200-A / R / E

アルバック

这是一个新系列的传感器类型 "G-TRAN系列复合电离真空计",可以实现不同的测量范围。作为B-A型电离真空计、可以测量超高真空。保留了以往的宽幅测压和低运行成本的理念,但进行了改进,更加人性化。

特点

  • 可连接到不同的测量范围:复合电离真空计可以根据
  • 小型化:与之前的产品相比,实现了尺寸的大幅缩小(控制器体积缩小56%),成为同级别最小的产品之一。
  • 操作性的提高:通过与PC/智能手机的连接,可以进行设定点设置、状态确认等。
  • 更强大的产品阵容:除模拟输出规格(SH200-A)和串行通信规格(SH200-R)外,还将增加EtherCAT规格(SH200-E)。
  • 灯丝寿命通知功能:通过监测灯丝功率,可提前通知灯丝寿命。
  • 压力测量范围广:从大气压到高真空范围(1×10+5~5×10-8Pa)(选配SWU10-R的情况下)。
  • 可以精确的测量大气压:可以检查腔体的开启情况(当连接了可选的单元SAU时)。

用途

  • 用于各种制造设备的高真空区域的工艺监控,包括半导体和电子元件。
  • 用于具有多个处理室的各种制造设备的高真空区域的极限压力测量,例如in-line式和枚叶式
  • 高真空・超高真空设备的压力测量

规格

型号 SH200-A SH200-R HT200-E
(即将上市)
规格 标准规格 串口通信规格 EtherCAT规格
适应多离子传感器 M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070)
可以连接的传感器 多离子传感器:1本
皮拉尼真空计SWU10-R:1本(可选)
大其他传感器SAU:1本(可选)
测量精度(N2 SH200本体模式:±2%
取样时间 60ms 5回 移動平均処理
測定値出力 出力电压 DC 0~10V LOG出力 0.75V/1桁
圧力换算公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2}
更新时间 60msec
控制输入信号 FIL ON/OFF, FIL 1/2, DEGAS ON/OFF
打开集电极动作、负逻辑
* FIL ON/OFF信号使用方式因模式而异
- -
制御出力信号 传感器错误,设定点1/2/3, 有效排放,灯丝电力监控
定格:24VMAX、50mAMAX、飽和電圧1V
- -
串行通信规格 - RS232C/RS-485 EtherCAT
LED显示 POWER/ERROR: 电源、LED ERROR (闪烁状态根据各种模式变化)
发射电流 1mA (1×10-3Pa以下), 10μA (1×10-3Pa以上)
DEGAS 电子轰击脱离方法(电子轰击)1mA、330V
测量部耐圧性 2×10+5Pa (绝对压力)
* 需要单独考虑法兰和夹具等的耐压性
传感器内部容量 17cm3(M-44), 19cm3(M-45), 17cm3(M-46)
使用温度范围 10~50℃
使用湿度范围 15~80%(不结露)
保管温度 -20~65℃(非通电时、不结露)
IP保护等級 IP30
电源电压 DC20~28V (波纹,噪音1%以下) 
8W以下
输入/输出连接器 D-sub15销(M2.6螺丝)
重量 调节器:约280g 测定子(M-44, M-45):80g, (M-46): 300g
外形尺寸 W×D×H 69mm×63mm×90mm (控制器部分)
适合规格 CE
选项 多离子传感器 M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070)
材质:灯丝1,2 -Ir/Y2O3
其他:PtC-Mo, SUS304, W, Kovar glass, Kovar/Niメッキ
皮拉尼真空计传感器 SWU10-R ※也支持传统的SPU产品。
皮拉尼真空计 SWP-16(NW16), SWP-25(NW25), SWP-R1/8(R1/8), SWP-P18(Φ18 pipe end), SWP-P15(Φ15 pipe end),SWP-CF16(ICF034)
材质:灯丝-Pt, 其他-BS/Ni, 电镀, Ni, 焊接
大气压传感器 SAU(NW16) 材质:SUS316L
单位电缆 GUC-200P(SWU用):0.5m, 1m, 2m, GUC-200A(SAU用):0.5m, 1m, 2m
显示单元 1CH:ISG1 (DC24V电源使用)
显示单元电缆 SH200~显示单元电缆
2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30m, 35m, 40m
连接器 入出力连接器(D-sub15-soket(M2.6mm螺丝))
其他 検査成績書, 一般校正試験成績書, JCSS校正証明書

各种模式规格

SH200-A/SH200-R/SH200-E有3种方式可选,多规格单体模式、皮拉尼真空计的组合模式、皮拉尼真空计或大气压传感器的三重组合模式

模式 SH200-A/SH200-R/SH200-E
单体模式
SH200-A/SH200-R/SH200-E
+SWU10-R
组合模式
SH200-A/SH200-R/SH200-E
+SWU10-R+SAU
组合模式
测量圧力范围 5.0×10-8 to 1.0×10+1Pa 5.0×10-8 to 1.0×10+5Pa 5.0×10-8 to 1.0×10+5Pa
测量精度 5.0×10-8 to 1.0×10+1Pa:
±15%
5.0×10-8 to 1.0×10-1Pa:±15%
4.0×10-1 to 3.0×10+0Pa:±10~±15%
3.0×10+0 to 1.0×10+4Pa:±10%
1.0×10+4 to 1.0×10+5Pa:±20%
5.0×10-8 to 4.0×10-1Pa:±15%
4.0×10-1 to 3.0×10+0Pa:±10~±15%
3.0×10+0 to 1.0×10+4Pa:±10%
1.0×10+4 to 3.0×10+5Pa:±3%F.S.(3.0×10+3Pa・基准温度25℃)
连接方式图解 SH200_S.png SH200+SWU10-R.png SH200+SWU10-R+SAU.png
测定压力范围图解 SH200_i.png

当需要确认大气压,如腔体打开的情况下,推荐使用三合一组合

电脑/智能手机的连接图示

SH200_cellphone+PC.png

应用软件「UL-MOBI」

电脑用 从ULVAC SHOWCASE下载
智能手机用 Google Play下载

Compatible devices

电脑 Windows10 64bit 以上
智能手机 Android 6以上、USB TypeC

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