热阴极电离真空计
传感器型
SH200 系列
SH200-A / R / E
アルバック
这是一个新系列的传感器类型 "G-TRAN系列复合电离真空计",可以实现不同的测量范围。作为B-A型电离真空计、可以测量超高真空。保留了以往的宽幅测压和低运行成本的理念,但进行了改进,更加人性化。
特点
- 可连接到不同的测量范围:复合电离真空计可以根据
- 小型化:与之前的产品相比,实现了尺寸的大幅缩小(控制器体积缩小56%),成为同级别最小的产品之一。
- 操作性的提高:通过与PC/智能手机的连接,可以进行设定点设置、状态确认等。
- 更强大的产品阵容:除模拟输出规格(SH200-A)和串行通信规格(SH200-R)外,还将增加EtherCAT规格(SH200-E)。
- 灯丝寿命通知功能:通过监测灯丝功率,可提前通知灯丝寿命。
- 压力测量范围广:从大气压到高真空范围(1×10+5~5×10-8Pa)(选配SWU10-R的情况下)。
- 可以精确的测量大气压:可以检查腔体的开启情况(当连接了可选的单元SAU时)。
用途
- 用于各种制造设备的高真空区域的工艺监控,包括半导体和电子元件。
- 用于具有多个处理室的各种制造设备的高真空区域的极限压力测量,例如in-line式和枚叶式
- 高真空・超高真空设备的压力测量
规格
型号 | SH200-A | SH200-R | HT200-E (即将上市) |
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规格 | 标准规格 | 串口通信规格 | EtherCAT规格 | |
适应多离子传感器 | M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070) | |||
可以连接的传感器 | 多离子传感器:1本 皮拉尼真空计SWU10-R:1本(可选) 大其他传感器SAU:1本(可选) |
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测量精度(N2) | SH200本体模式:±2% | |||
取样时间 | 60ms 5回 移動平均処理 | |||
測定値出力 | 出力电压 DC 0~10V LOG出力 0.75V/1桁 圧力换算公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2} |
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更新时间 | 60msec | |||
控制输入信号 | FIL ON/OFF, FIL 1/2, DEGAS ON/OFF 打开集电极动作、负逻辑 * FIL ON/OFF信号使用方式因模式而异 |
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制御出力信号 | 传感器错误,设定点1/2/3, 有效排放,灯丝电力监控 定格:24VMAX、50mAMAX、飽和電圧1V |
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串行通信规格 | - | RS232C/RS-485 | EtherCAT | |
LED显示 | POWER/ERROR: 电源、LED ERROR (闪烁状态根据各种模式变化) | |||
发射电流 | 1mA (1×10-3Pa以下), 10μA (1×10-3Pa以上) | |||
DEGAS | 电子轰击脱离方法(电子轰击)1mA、330V | |||
测量部耐圧性 | 2×10+5Pa (绝对压力) * 需要单独考虑法兰和夹具等的耐压性 |
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传感器内部容量 | 17cm3(M-44), 19cm3(M-45), 17cm3(M-46) | |||
使用温度范围 | 10~50℃ | |||
使用湿度范围 | 15~80%(不结露) | |||
保管温度 | -20~65℃(非通电时、不结露) | |||
IP保护等級 | IP30 | |||
电源电压 | DC20~28V (波纹,噪音1%以下) 8W以下 |
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输入/输出连接器 | D-sub15销(M2.6螺丝) | |||
重量 | 调节器:约280g 测定子(M-44, M-45):80g, (M-46): 300g | |||
外形尺寸 W×D×H | 69mm×63mm×90mm (控制器部分) | |||
适合规格 | CE | |||
选项 | 多离子传感器 | M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070) 材质:灯丝1,2 -Ir/Y2O3壳 其他:PtC-Mo, SUS304, W, Kovar glass, Kovar/Niメッキ |
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皮拉尼真空计传感器 | SWU10-R ※也支持传统的SPU产品。 | |||
皮拉尼真空计 | SWP-16(NW16), SWP-25(NW25), SWP-R1/8(R1/8), SWP-P18(Φ18 pipe end), SWP-P15(Φ15 pipe end),SWP-CF16(ICF034) 材质:灯丝-Pt, 其他-BS/Ni, 电镀, Ni, 焊接 |
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大气压传感器 | SAU(NW16) 材质:SUS316L | |||
单位电缆 | GUC-200P(SWU用):0.5m, 1m, 2m, GUC-200A(SAU用):0.5m, 1m, 2m | |||
显示单元 | 1CH:ISG1 (DC24V电源使用) | |||
显示单元电缆 | SH200~显示单元电缆 2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30m, 35m, 40m |
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连接器 | 入出力连接器(D-sub15-soket(M2.6mm螺丝)) | |||
其他 | 検査成績書, 一般校正試験成績書, JCSS校正証明書 |
各种模式规格
SH200-A/SH200-R/SH200-E有3种方式可选,多规格单体模式、皮拉尼真空计的组合模式、皮拉尼真空计或大气压传感器的三重组合模式
模式 | SH200-A/SH200-R/SH200-E 单体模式 |
SH200-A/SH200-R/SH200-E +SWU10-R 组合模式 |
SH200-A/SH200-R/SH200-E +SWU10-R+SAU 组合模式 |
测量圧力范围 | 5.0×10-8 to 1.0×10+1Pa | 5.0×10-8 to 1.0×10+5Pa | 5.0×10-8 to 1.0×10+5Pa |
测量精度 | 5.0×10-8 to 1.0×10+1Pa: ±15% |
5.0×10-8 to 1.0×10-1Pa:±15% 4.0×10-1 to 3.0×10+0Pa:±10~±15% 3.0×10+0 to 1.0×10+4Pa:±10% 1.0×10+4 to 1.0×10+5Pa:±20% |
5.0×10-8 to 4.0×10-1Pa:±15% 4.0×10-1 to 3.0×10+0Pa:±10~±15% 3.0×10+0 to 1.0×10+4Pa:±10% 1.0×10+4 to 3.0×10+5Pa:±3%F.S.(3.0×10+3Pa・基准温度25℃) |
连接方式图解 | ![]() |
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测定压力范围图解 | ![]() 当需要确认大气压,如腔体打开的情况下,推荐使用三合一组合 |
电脑/智能手机的连接图示
![SH200_cellphone+PC.png](../../../../../../ja/products/img/SH200_cellphone%2BPC.png)
应用软件「UL-MOBI」
电脑用 | 从ULVAC SHOWCASE下载 |
智能手机用 | Google Play下载 |
Compatible devices
电脑 | Windows10 64bit 以上 |
智能手机 | Android 6以上、USB TypeC |