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热阴极电离真空计

传感器型

SH200 系列

SH200-A / R / E

アルバック

这是一个新系列的传感器类型 "G-TRAN系列复合电离真空计"，可以实现不同的测量范围。作为B-A型电离真空计、可以测量超高真空。保留了以往的宽幅测压和低运行成本的理念，但进行了改进，更加人性化。

特点

可连接到不同的测量范围：复合电离真空计可以根据
小型化：与之前的产品相比，实现了尺寸的大幅缩小（控制器体积缩小56%），成为同级别最小的产品之一。
操作性的提高：通过与PC/智能手机的连接，可以进行设定点设置、状态确认等。
更强大的产品阵容：除模拟输出规格（SH200-A）和串行通信规格（SH200-R）外，还将增加EtherCAT规格（SH200-E）。
灯丝寿命通知功能：通过监测灯丝功率，可提前通知灯丝寿命。
压力测量范围广：从大气压到高真空范围（1×10⁺⁵～5×10^-8Pa）（选配SWU10-R的情况下）。
可以精确的测量大气压：可以检查腔体的开启情况（当连接了可选的单元SAU时）。

用途

用于各种制造设备的高真空区域的工艺监控，包括半导体和电子元件。
用于具有多个处理室的各种制造设备的高真空区域的极限压力测量，例如in-line式和枚叶式
高真空・超高真空设备的压力测量

规格

型号		SH200-A	SH200-R	HT200-E （即将上市）
规格		标准规格	串口通信规格	EtherCAT规格
适应多离子传感器		M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070)
可以连接的传感器		多离子传感器：1本皮拉尼真空计SWU10-R：1本（可选）大其他传感器SAU：1本（可选）
测量精度（N₂）		SH200本体模式：±2％
取样时间		60ms 5回移動平均処理
測定値出力		出力电压 DC 0～10V　LOG出力 0.75V/1桁圧力换算公式　V=7.25+0.75×(LogP-2)　P=10^{(V-7.25)/0.75+2}
更新时间		60msec
控制输入信号		FIL ON/OFF, FIL　1/2, DEGAS ON/OFF 打开集电极动作、负逻辑 * FIL ON/OFF信号使用方式因模式而异	-	-
制御出力信号		传感器错误，设定点1/2/3, 有效排放,灯丝电力监控定格：24V_MAX、50mA_MAX、飽和電圧1V	-	-
串行通信规格		-	RS232C/RS-485	EtherCAT
LED显示		POWER/ERROR：电源、LED ERROR (闪烁状态根据各种模式变化)
发射电流		1mA (1×10^-3Pa以下), 10μA (1×10^-3Pa以上)
DEGAS		电子轰击脱离方法（电子轰击）1mA、330V
测量部耐圧性		2×10⁺⁵Pa （绝对压力） * 需要单独考虑法兰和夹具等的耐压性
传感器内部容量		17cm³(M-44), 19cm³(M-45), 17cm³(M-46)
使用温度范围		10～50℃
使用湿度范围		15～80%(不结露)
保管温度		-20～65℃(非通电时、不结露)
IP保护等級		IP30
电源电压		DC20～28V (波纹，噪音1%以下)　 8W以下
输入/输出连接器		D-sub15销（M2.6螺丝）
重量		调节器：约280g　测定子(M-44, M-45)：80g, (M-46): 300g
外形尺寸 W×D×H		69mm×63mm×90mm (控制器部分)
适合规格		CE
选项	多离子传感器	M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070) 材质：灯丝1,2 -Ir/Y₂O₃壳其他：PtC-Mo, SUS304, W, Kovar glass, Kovar/Niﾒｯｷ
	皮拉尼真空计传感器	SWU10-R　※也支持传统的SPU产品。
	皮拉尼真空计	SWP-16(NW16), SWP-25(NW25), SWP-R1/8(R1/8), SWP-P18(Φ18 pipe end), SWP-P15(Φ15 pipe end),SWP-CF16(ICF034) 材质：灯丝－Pt, 其他－BS/Ni, 电镀, Ni, 焊接
	大气压传感器	SAU(NW16) 材质：SUS316L
	单位电缆	GUC-200P（SWU用）：0.5m, 1m, 2m, GUC-200A（SAU用）：0.5m, 1m, 2m
	显示单元	1CH：ISG1 (DC24V电源使用)
	显示单元电缆	SH200～显示单元电缆 2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30ｍ, 35m, 40m
	连接器	入出力连接器（D-sub15-soket（M2.6mm螺丝））
	其他	検査成績書, 一般校正試験成績書, JCSS校正証明書

各种模式规格

SH200-A/SH200-R/SH200-E有3种方式可选，多规格单体模式、皮拉尼真空计的组合模式、皮拉尼真空计或大气压传感器的三重组合模式

模式	SH200-A/SH200-R/SH200-E 单体模式	SH200-A/SH200-R/SH200-E ＋SWU10-R 组合模式	SH200-A/SH200-R/SH200-E ＋SWU10-R＋SAU 组合模式
测量圧力范围	5.0×10^-8 to 1.0×10⁺¹Pa	5.0×10^-8to 1.0×10⁺⁵Pa	5.0×10^-8 to 1.0×10⁺⁵Pa
测量精度	5.0×10^-8to 1.0×10⁺¹Pa： ±15%	5.0×10^-8to 1.0×10^-1Pa：±15% 4.0×10^-1 to 3.0×10⁺⁰Pa：±10～±15% 3.0×10⁺⁰ to 1.0×10⁺⁴Pa：±10% 1.0×10⁺⁴ to 1.0×10⁺⁵Pa：±20%	5.0×10^-8 to 4.0×10^-1Pa：±15% 4.0×10^-1 to 3.0×10⁺⁰Pa：±10～±15% 3.0×10⁺⁰ to 1.0×10⁺⁴Pa：±10% 1.0×10⁺⁴ to 3.0×10⁺⁵Pa：±3%F.S.(3.0×10⁺³Pa･基准温度25℃)
连接方式图解
测定压力范围图解	当需要确认大气压，如腔体打开的情况下，推荐使用三合一组合

电脑/智能手机的连接图示

应用软件「UL-MOBI」

电脑用	从ULVAC SHOWCASE下载
智能手机用	Google Play下载

Compatible devices

电脑	Windows10 64bit 以上
智能手机	Android 6以上、USB TypeC

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可选部件・消耗品

热阴极电离真空计传感器型 SH200 系列

测定子 M-44(NW16) 测定子 M-45(NW25) 测定子 M-46(ICF070)

选购配件・消耗品

测定子

SH200

M-44(NW16)

アルバック
选购配件・消耗品

测定子

SH200

M-45(NW25)

アルバック
选购配件・消耗品

测定子

SH200

M-46(ICF070)

アルバック

传感器型复合电离真空计 ST200-A / R / E

特点

可连接到不同的测量范围：复合电离真空计可以根据

小型化：与之前的产品相比，实现了尺寸的大幅缩小（控制器体积缩小56%），成为同级别最小的产品之一。

操作性的提高：通过与PC/智能手机的连接，可以进行设定点设置、状态确认等。

更强大的产品阵容：除模拟输出规格（SH200-A）和串行通信规格（SH200-R）外，还将增加EtherCAT规格（SH200-E）。

灯丝寿命通知功能：通过监测灯丝功率，可提前通知灯丝寿命。

压力测量范围广：从大气压到高真空范围（1×10⁺⁵～5×10^-8Pa）（选配SWU10-R的情况下）。

可以精确的测量大气压：可以检查腔体的开启情况（当连接了可选的单元SAU时）。

规格

型号		SH200-A	SH200-R	HT200-E （即将上市）
规格		标准规格	串口通信规格	EtherCAT规格
适应多离子传感器		M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070)
可以连接的传感器		多离子传感器：1本皮拉尼真空计SWU10-R：1本（可选）大其他传感器SAU：1本（可选）
测量精度（N₂）		SH200本体模式：±2％
取样时间		60ms 5回移動平均処理
測定値出力		出力电压 DC 0～10V　LOG出力 0.75V/1桁圧力换算公式　V=7.25+0.75×(LogP-2)　P=10^{(V-7.25)/0.75+2}
更新时间		60msec
控制输入信号		FIL ON/OFF, FIL　1/2, DEGAS ON/OFF 打开集电极动作、负逻辑 * FIL ON/OFF信号使用方式因模式而异	-	-
制御出力信号		传感器错误，设定点1/2/3, 有效排放,灯丝电力监控定格：24V_MAX、50mA_MAX、飽和電圧1V	-	-
串行通信规格		-	RS232C/RS-485	EtherCAT
LED显示		POWER/ERROR：电源、LED ERROR (闪烁状态根据各种模式变化)
发射电流		1mA (1×10^-3Pa以下), 10μA (1×10^-3Pa以上)
DEGAS		电子轰击脱离方法（电子轰击）1mA、330V
测量部耐圧性		2×10⁺⁵Pa （绝对压力） * 需要单独考虑法兰和夹具等的耐压性
传感器内部容量		17cm³(M-44), 19cm³(M-45), 17cm³(M-46)
使用温度范围		10～50℃
使用湿度范围		15～80%(不结露)
保管温度		-20～65℃(非通电时、不结露)
IP保护等級		IP30
电源电压		DC20～28V (波纹，噪音1%以下)　 8W以下
输入/输出连接器		D-sub15销（M2.6螺丝）
重量		调节器：约280g　测定子(M-44, M-45)：80g, (M-46): 300g
外形尺寸 W×D×H		69mm×63mm×90mm (控制器部分)
适合规格		CE
选项	多离子传感器	M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070) 材质：灯丝1,2 -Ir/Y₂O₃壳其他：PtC-Mo, SUS304, W, Kovar glass, Kovar/Niﾒｯｷ
	皮拉尼真空计传感器	SWU10-R　※也支持传统的SPU产品。
	皮拉尼真空计	SWP-16(NW16), SWP-25(NW25), SWP-R1/8(R1/8), SWP-P18(Φ18 pipe end), SWP-P15(Φ15 pipe end),SWP-CF16(ICF034) 材质：灯丝－Pt, 其他－BS/Ni, 电镀, Ni, 焊接
	大气压传感器	SAU(NW16) 材质：SUS316L
	单位电缆	GUC-200P（SWU用）：0.5m, 1m, 2m, GUC-200A（SAU用）：0.5m, 1m, 2m
	显示单元	1CH：ISG1 (DC24V电源使用)
	显示单元电缆	SH200～显示单元电缆 2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30ｍ, 35m, 40m
	连接器	入出力连接器（D-sub15-soket（M2.6mm螺丝））
	其他	検査成績書, 一般校正試験成績書, JCSS校正証明書

各种模式规格

SH200-A/SH200-R/SH200-E有3种方式可选，多规格单体模式、皮拉尼真空计的组合模式、皮拉尼真空计或大气压传感器的三重组合模式

模式	SH200-A/SH200-R/SH200-E 单体模式	SH200-A/SH200-R/SH200-E ＋SWU10-R 组合模式	SH200-A/SH200-R/SH200-E ＋SWU10-R＋SAU 组合模式
测量圧力范围	5.0×10^-8 to 1.0×10⁺¹Pa	5.0×10^-8to 1.0×10⁺⁵Pa	5.0×10^-8 to 1.0×10⁺⁵Pa
测量精度	5.0×10^-8to 1.0×10⁺¹Pa： ±15%	5.0×10^-8to 1.0×10^-1Pa：±15% 4.0×10^-1 to 3.0×10⁺⁰Pa：±10～±15% 3.0×10⁺⁰ to 1.0×10⁺⁴Pa：±10% 1.0×10⁺⁴ to 1.0×10⁺⁵Pa：±20%	5.0×10^-8 to 4.0×10^-1Pa：±15% 4.0×10^-1 to 3.0×10⁺⁰Pa：±10～±15% 3.0×10⁺⁰ to 1.0×10⁺⁴Pa：±10% 1.0×10⁺⁴ to 3.0×10⁺⁵Pa：±3%F.S.(3.0×10⁺³Pa･基准温度25℃)
连接方式图解
测定压力范围图解	当需要确认大气压，如腔体打开的情况下，推荐使用三合一组合

电脑/智能手机的连接图示

应用软件「UL-MOBI」

电脑用	从ULVAC SHOWCASE下载
智能手机用	Google Play下载

Compatible devices

电脑	Windows10 64bit 以上
智能手机	Android 6以上、USB TypeC