热阴极电离真空计

传感器型

ST200 系列

ST200-A / R / E

アルバック

这是 "G-TRAN系列复合电离真空计"的新型号,可以实现不同的测量范围。作为三极管电离真空计,该产品不易发生灵敏度下降,即使在真空计的恶劣环境下,也能实现更长时间、更精确的真空测量。在保留以往高寿命、低运行成本理念的基础上,进行了改进,更加人性化。

特点

  • 可连接到不同的测量范围:复合电离真空计可以根据工艺选择测定子。
  • 小型化:与之前的产品相比,实现了尺寸的大幅缩小(控制器体积缩小56%),成为同级别最小的产品之一。
  • 操作性的提高:通过与PC/智能手机的连接,可以进行设定点设置、状态确认等。
  • 更丰富的阵容:除了模拟输出规格(ST200-A)和串行通信规格(ST200-R)之外,还将增加EtherCAT规格(ST200-E)。
  • 世界上第一台三极管金属电离真空计(正在申请专利):即使在恶劣的环境中,真空计的使用寿命也很长。
  • 灯丝寿命通知功能:通过监测灯丝功率,可提前通知灯丝寿命。
  • 压力测量范围广:从大气压到高真空范围(1×10+5~1×10-5Pa)(选配SWU10-R的情况下)。
  • 可以精确的测量大气压:可以检查腔体的开启情况(当连接了可选的单元SAU时)。

用途

  • 用于有机EL・触摸屏等制造设备的极限压力确认以及工艺管理用真空炉等各种工业真空设备的极限压力确认
  • 用于在含有多种碳氢化合物(油类)的环境中进行测量
  • 用于在真空零件加工时残留切削油和清洁液的环境中进行测量
  • 用于需要降低测定子更换频率的真空设备

※在腐蚀性气体(卤素气体)环境中使用时请咨询我们。

规格

型号 ST200-A ST200-R ST200-E
(即将上市)
规格 标准规格 串口通信规格 EtherCAT规格
适应多离子传感器 SWT-16(NW16), SWT-25(NW25)
可以连接的传感器 多离子传感器:1本
皮拉尼真空计SWU10-R:1本(可选)
大其他传感器SAU:1本(可选)
测量精度(N2 ST200本体模式:±2%
取样时间 60ms 5回 移動平均処理
測定値出力 出力电压 DC 0~10V LOG出力 0.75V/1桁
圧力换算公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2}
更新时间 60msec
控制输入信号 FIL ON/OFF, DEGAS ON/OFF
打开集电极动作、负逻辑
- -
制御出力信号 传感器错误,设定点1/2/3, 有效排放,灯丝电力监控
定格:24VMAX、50mAMAX、飽和電圧1V
- -
串行通信规格 - RS232C/RS-485 EtherCAT
LED显示 POWER/ERROR: 电源、LED ERROR (闪烁状态根据各种模式变化)
发射电流 2mA (1×10-2Pa以下), 10μA (1×10-2Pa以上)
DEGAS 电子轰击脱离方法(电子轰击)1mA、330V
测量部耐圧性 2×10+5Pa (绝对压力)
* 需要单独考虑法兰和夹具等的耐压性
传感器内部容量 17cm3(SWT-16), 19cm3(SWT-25)
使用温度范围 10~50℃
使用湿度范围 15~80%(不结露)
保管温度 -20~65℃(非通电时、不结露)
IP保护等級 IP30
电源电压 DC20~28V (波纹,噪音1%以下) 
8W以下
输入/输出连接器 D-sub15销(M2.6螺丝)
重量 调节器:约280g 测定子(M-44, M-45):80g, (M-46): 300g
外形尺寸 W×D×H 69mm×63mm×90mm (控制器部分)
适合规格 CE
选项 多离子传感器 SWT-16(NW16), SWT-25(NW25)
材质:灯丝1,2 -Ir/Y2O3壳,
其他:PtC-Mo, SUS304, W, Kovar glass, Kovar/Ni电镀
皮拉尼真空计传感器 SWU10-R ※也支持传统的SPU产品。
皮拉尼真空计 SWP-16(NW16), SWP-25(NW25), SWP-R1/8(R1/8), SWP-P18(Φ18 pipe end), SWP-P15(Φ15 pipe end),SWP-CF16(ICF034)
材质:灯丝-Pt, 其他-BS/Ni, 电镀, Ni, 焊接
大气压传感器 SAU(NW16) 材质:SUS316L
单位电缆 GUC-200P(SWU用):0.5m, 1m, 2m, GUC-200A(SAU用):0.5m, 1m, 2m
显示单元 1CH:ISG1 (DC24V电源使用)
显示单元电缆 ST200~显示单元电缆
2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30m, 35m, 40m
连接器 入出力连接器(D-sub15-soket(M2.6mm螺丝))
其他 検査成績書, 一般校正試験成績書, JCSS校正証明書

各种模式规格

ST200-A/ST200-R/ST200-E有3种方式可选,多规格单体模式、皮拉尼真空计的组合模式、皮拉尼真空计或大气压传感器的三重组合模式

模式 ST200-A/ST200-R/ST200-E
单体模式
ST200-A/ST200-R/ST200-E+SWU10-R
组合模式
ST200-A/ST200-R/ST200-E+SWU10-R+SAU
组合模式
测量圧力范围 1.0×10-5 to 1.0×10+1Pa 1.0×10-5 to 1.0×10+5Pa 1.0×10-5 to 1.0×10+5Pa
测量精度 1.0×10-4 to 3.0×10+0Pa:
±10%
1.0×10-4 to 1.0×10+4Pa:±10%
1.0×10+4 to 1.0×10+5Pa:±20%
1.0×10-4 to 1.0×10+4Pa:±10%
1.0×10+4 to 3.0×10+5Pa:±3%F.S.(3.0×10+3Pa・基准温度25℃)
连接方式图解 ST200_S.png ST200+SWU10-R.png ST200+SWU10-R+SAU.png
测定压力范围图解 ST200_i.png

当需要确认大气压,如腔体打开的情况下,推荐使用三合一组合

电脑/智能手机的连接图示

SH200_cellphone+PC.png

应用软件「UL-MOBI」

电脑用 从ULVAC SHOWCASE下载
智能手机用 Google Play下载

Compatible devices

电脑 Windows10 64bit 以上
智能手机 Android 6以上、USB TypeC

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