隔膜型干泵
标准规格（一段式）
Model:DA-60S
ULVAC
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膜片泵通过橡胶膜片的往复运动来形成真空。
泵体结构采用无油环境设计、因此维护简单。
根据您对压力和腔体的要求可以选择各种不同的泵速和双段/单段设计。
泵体结构采用无油环境设计、因此维护简单。
根据您对压力和腔体的要求可以选择各种不同的泵速和双段/单段设计。
特点
- 价格低廉，销售量多的标准型干式真空泵。
- 气体接触区域不使用油的干式真空泵。
- 丰富的产品阵容可满足不同的应用需求。
- 单级排气系统比两级排气系统更快。
- 具有锁定保护和过流保护功能等安全设计。
- 大气压下可以运作。
用途
- 真空吸盘，晶圆和尖端处理设备。
- 真空镊子，医疗器械。
- 印刷设备。
- 自动包装机。
- 光学器具。
- 半导体行业。
- 注塑机。
规格
| Unit | 50Hz | 60Hz | |
| 有效排气速度 | L/min | 60 | 72 |
| 极限压力※1 | Pa (kPa) | 21.3×103 （-80.0） | |
| 使用电动机 | 单相, 100V, 200W, 4P, 分相启动 | ||
| 全负荷电流 | A | 5.6 | 5 |
| 重量 | kg | 11 | |
| 吸/排出孔（内螺纹尺寸） | mm | O.D.Φ9×I.D.Φ5 (Rc 1/4) | |
| 使用环境温度范围 | ℃ | 7～40 | |
| 最大尺寸 | mm | 212(W)×278(L)×224.5(H) | |
※1：极限压力如（）真空计显示。
对应标准/电压
| 型号 | 认证标准 | ＣＥ自我宣言 | 1Φ 100V |
1Φ 115V |
1Φ 200V |
1Φ 220V |
| DA-60S | － | － | ● | － | ○ | ○ |
●：标准、○：可选对应、－：对应不可
使用上的注意
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１
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如果在负载运作期间停止泵，然后立即重新启动，则可能无法重新启动。
在这种情况下，将泵内部恢复到大气压。 |
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２
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请不要吸入腐蚀性气体，有机溶剂，液体和可冷凝气体（如水蒸气）。
另外，请确保污垢和灰尘不会进入泵内部。 |
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３
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泵启动时会有大电流流过。
在短时间内频繁打开和关闭泵电源可能会导致问题。 不要经常频繁打开/关闭电源。 |
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４
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仅供室内使用
请勿安装在下雨或淹水的地方或室外。 |
尺寸图
排气速度曲线
