真空泵(低・中真空)

ULVAC的真空泵是以ULVAC在真空领域丰富的技术和经验为基础开发的。除了油回转真空泵以外,干泵也有罗茨型、膜片型和活塞型等。我们有适用于所有领域·条件·用途的真空泵系列产品。

泵的种类

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极限压力

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1.0×10-2 1.0×10-1 1.0 10.0 1.0×102 1.0×103 1.0×104 1.0×105
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7.5×10-5 7.5×10-4 7.5×10-3 7.5×10-2 7.5×10-1 7.5 7.5×101 7.5×102
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1.0×10-4 1.0×10-3 1.0×10-2 1.0×10-1 1.0 1.0×101 1.0×102 1.0×103
(単位) Pa Torr mbar

最大排气速度

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0 50 100 500 1000 3000 5000 10000 50000 105000
0 3 6 30 60 180 300 600 3000 6300
(単位) L/min m3/h

产品类别

专注于

品牌

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