爱发科集团生产，销售的真空相关的设备介绍。

MS系列是螺杆型干式真空泵。在传统的LS系列的基础上，提高了耐腐蚀性和粉末排出性能。该型号专为使用腐蚀性气体和有粉末排出的工艺设计。

LS系列真空泵被归为螺杆型干式真空泵。以往要提高排气速度就要消耗大量电能，我们通过独创的螺杆形状和节电技术的融合，使该系列产品成为兼顾高速排气和低功耗的干式真空泵。
在4种机型中，您可根据设备的大小、使用条件及用途选择最佳排气容量的泵。

通过高温领域的泵体均热化，实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出的一款泵。

通过低温区域的泵体均热化，在PVD工艺之外，尤其适于那些为了提高产能而需要缩短排气时间的重要的备料下料室排气的一款泵。

干泵GR系列是以获得良好业绩和信赖的LR/HR系列为基础设计的，面向一般产业设计的简单结构的泵。

干泵CR系列VerB是获得国际标准（CE,cTUVus）的空冷式罗茨型干泵。排气室内不使用真空油，因转子和汽缸是不接触的，可长时间稳定运转。

当使用干泵时可选配，用于降低排气噪音。

ECO-SHOCK是一种通过搭载在当前使用的干泵上，从而实现大幅省电的划时代部件。

•大排气量、小型尺寸。
•不会发生真空油的返流和油雾。
•无摩擦部分、长寿命。

•大排气量、小型尺寸。
•不会发生真空油的返流和油雾。
•无摩擦部分、长寿命。

通过固定涡旋壁(固定涡轮)与对面涡旋壁(从动涡轮)的偏心运动,进行排气的真空泵。

•双绕式涡旋泵、含1根轨道螺旋和2根固定螺旋。
•可在大气压下实现操作运行。
•可实现高极限真空。
•低振动低噪音。
•维护周期可通过计时表控制。

•双绕式涡旋泵、含1根轨道螺旋和2根固定螺旋。
•可在大气压下实现操作运行。
•可实现高极限真空。
•低振动低噪音。
•维护周期可通过计时表控制。

单绕式涡旋泵含轨道螺旋和固定螺旋各1个。
比DIS系列对灰尘与水蒸气的处理能力强、适合工业用。

单绕式涡旋泵含轨道螺旋和固定螺旋各1个。
比DIS系列对灰尘与水蒸气的处理能力强、适合工业用。

真空泵吸排气过滤器
通过利用离子交换树脂纤维，该过滤器可有效限制酸性气体、油雾。
过滤器可放置在真空侧和排气侧，而且可更换滤芯。

1.可以用于各种真空装置中使用的真空泵中。
2.既可以设置在真空侧也可以设置在排气侧。
3.用离子交换树脂纤维的元件吸引捕集从装置中排出的反应产物和粉状体。
4.不仅能够高效率地捕捉排气气体中的粉末还能捕捉酸性气体和油雾。
5.可以使真空泵和泵的油长期保持洁净、减少真空泵的故障、油的更换。
6.安装时，需要另外准备KF-型卡箍、减压器、中心环等（请另外咨询）

真空泵吸排气过滤器
通过利用离子交换树脂纤维，该过滤器可有效限制酸性气体、油雾。
过滤器可放置在真空侧和排气侧，而且可更换滤芯。

1.可以用于各种真空装置中使用的真空泵中。
2.既可以设置在真空侧也可以设置在排气侧。
3.用离子交换树脂纤维的元件吸引捕集从装置中排出的反应产物和粉状体。
4.不仅能够高效率地捕捉排气气体中的粉末还能捕捉酸性气体和油雾。
5.可以使真空泵和泵的油长期保持洁净、减少真空泵的故障、油的更换。
6.安装时，需要另外准备KF-型卡箍、减压器、中心环等（请另外咨询）

通过橡胶薄膜(膜片)的往复运动而排气的真空泵。 结构简单,易于操作。 DTC系列是高耐腐型。

通过橡胶薄膜(膜片)的往复运动而排气的真空泵。 结构简单,易于操作。 DTC系列是高耐腐型。

膜片泵通过橡胶膜片的往复运动来形成真空。
泵体结构采用无油环境设计，维护简单。
DAP系列是我公司产品系列中最小型的膜片泵、50Hz时的泵速每分钟从6L到12L。

膜片泵通过橡胶膜片的往复运动来形成真空。
泵体结构采用无油环境设计，维护简单。
DAP系列是我公司产品系列中最小型的膜片泵、50Hz时的泵速每分钟从6L到12L。

膜片泵通过橡胶膜片的往复运动来形成真空。
泵体结构采用无油环境设计、因此维护简单。
根据您对压力和腔体的要求可以选择各种不同的泵速和双段/单段设计。

膜片泵通过橡胶膜片的往复运动来形成真空。
泵体结构采用无油环境设计、因此维护简单。
根据您对压力和腔体的要求可以选择各种不同的泵速和双段/单段设计。

膜片泵通过橡胶膜片的往复运动来形成真空。
泵体结构采用无油环境设计、因此维护简单。
根据您对压力和腔体的要求可以选择各种不同的泵速和双段/单段设计。

膜片泵通过橡胶膜片的往复运动来形成真空。
泵体结构采用无油环境设计、因此维护简单。
根据您对压力和腔体的要求可以选择各种不同的泵速和双段/单段设计。

膜片泵通过橡胶膜片的往复运动来形成真空。
泵体结构采用无油环境设计、因此维护简单。
根据您对压力和腔体的要求可以选择各种不同的泵速和双段/单段设计。

膜片泵通过橡胶膜片的往复运动来形成真空。
泵体结构采用无油环境设计、因此维护简单。
根据您对压力和腔体的要求可以选择各种不同的泵速和双段/单段设计。

膜片泵通过橡胶膜片的往复运动来形成真空。
泵体结构采用无油环境设计，维护简单。
DAP系列是我公司产品系列中最小型的膜片泵、50Hz时的泵速每分钟从6L到12L。

膜片泵通过橡胶膜片的往复运动来形成真空。
泵体结构采用无油环境设计，维护简单。
DAP系列是我公司产品系列中最小型的膜片泵、50Hz时的泵速每分钟从6L到12L。

膜片泵通过橡胶膜片的往复运动来形成真空。
泵体结构采用无油环境设计、因此维护简单。
根据您对压力和腔体的要求可以选择各种不同的泵速和双段/单段设计。

膜片泵通过橡胶膜片的往复运动来形成真空。
泵体结构采用无油环境设计、因此维护简单。
根据您对压力和腔体的要求可以选择各种不同的泵速和双段/单段设计。

膜片泵通过橡胶膜片的往复运动来形成真空。
泵体结构采用无油环境设计、因此维护简单。
根据您对压力和腔体的要求可以选择各种不同的泵速和双段/单段设计。

膜片泵通过橡胶膜片的往复运动来形成真空。
泵体结构采用无油环境设计、因此维护简单。
根据您对压力和腔体的要求可以选择各种不同的泵速和双段/单段设计。

膜片泵通过橡胶膜片的往复运动来形成真空。
泵体结构采用无油环境设计、因此维护简单。
根据您对压力和腔体的要求可以选择各种不同的泵速和双段/单段设计。

膜片泵通过橡胶膜片的往复运动来形成真空。
泵体结构采用无油环境设计、因此维护简单。
根据您对压力和腔体的要求可以选择各种不同的泵速和双段/单段设计。

•高真空型膜片泵。
•低振动。

•高真空型膜片泵。
•低振动。
•高强抗腐蚀。

•所有接触气体的部件全部采用PTFE与FPM材料。
•适合吸排有腐蚀性或有机溶剂气体。
•高真空至1000Pa。
•小型。

•所有接触气体的部件全部采用PTFE与FPM材料。
•适合吸排有腐蚀性或有机溶剂气体。
•高真空至1000Pa。
•小型。

•所有接触气体的部件全部采用PTFE与FPM材料。
•适合吸排有腐蚀性或有机溶剂气体。
•高真空至1000Pa。
•小型。

活塞干式真空泵通过气缸内皮碗密封的往复运动来形成真空状态。

活塞干式真空泵通过气缸内皮碗密封的往复运动来形成真空状态。

活塞干式真空泵通过气缸内皮碗密封的往复运动来形成真空状态。
可用作小型压缩机。

活塞干式真空泵通过气缸内皮碗密封的往复运动来形成真空状态。

活塞干式真空泵通过气缸内皮碗密封的往复运动来形成真空状态。

活塞干式真空泵通过气缸内皮碗密封的往复运动来形成真空状态。
泵速体积越大、泵机扬程数越高。

活塞干式真空泵通过气缸内皮碗密封的往复运动来形成真空状态。
泵速体积越大、泵机扬程数越高。

VS650B／VS750B 是旋片式（单级）的油旋转真空泵。可搭配罗茨泵获得更大的排气量。内置油雾过滤器和回油装置，排气性能长期稳定。
此外，设计上还考虑到了油和滤芯更换等维保的便宜性。

VS1501／VS2401 是旋片式（单级）的油旋转真空泵。水冷和强制给油的方式使得在高负荷下的排气性能也得以稳定。
此外还采用了大型油位计并在设计之初考虑了维保的便捷性。

VS300A-W是旋片式（单级）的油旋转真空泵。在同类产品中占地面积最小，可直接搭载机械增压泵。另外，内置了油雾过滤器和回油装置，排气性能长期稳定。此外，设计上还考虑到了油和滤芯更换等维保的便宜性。

PVD系列是紧凑的两级旋转叶片式皮带驱动油旋转真空泵。
这是一种小型的皮带驱动式油旋转真空泵，已被许多客户使用，具有多年的可靠性和易用性。
从低速旋转起，它具有安静稳定的排气特性。

VD系列是配备了ULVAC独创的多电压电机的双级旋片式直驱油旋转真空泵。

双级旋转叶片式油回转真空泵能达到较低的极限压力，优化设计实现了泵的低噪音运行，配件种类充实，用途非常广泛。

PKS系列是皮带驱动油旋转真空泵, 振动活塞式油旋转真空泵的单级设计结构坚固耐用，使用寿命长。采用高级铸件，耐磨性极佳。拆卸和组装非常容易，并且可以轻松点检排气阀。它可用于各种疲劳应用，例如金属/汽车工业，化学/制药/食品工业。

回收从油回转真空泵中排出的油雾的装置。不污染室内的设备和环境，可获得清洁的作业环境。

回收从油回转真空泵中排出的油雾的装置。不污染室内的设备和环境，可获得清洁的作业环境。

回收从油回转真空泵中排出的油雾的装置。不污染室内的设备和环境，可获得清洁的作业环境。

回收从油回转真空泵中排出的油雾的装置。不污染室内的设备和环境，可获得清洁的作业环境。

回收从油回转真空泵中排出的油雾的装置。不污染室内的设备和环境，可获得清洁的作业环境。

回收从油回转真空泵中排出的油雾的装置。不污染室内的设备和环境，可获得清洁的作业环境。

回收从油回转真空泵中排出的油雾的装置。不污染室内的设备和环境，可获得清洁的作业环境。

回收从油回转真空泵中排出的油雾的装置。不污染室内的设备和环境，可获得清洁的作业环境。

回收从油回转真空泵中排出的油雾的装置。不污染室内的设备和环境，可获得清洁的作业环境。

回收从油回转真空泵中排出的油雾的装置。不污染室内的设备和环境，可获得清洁的作业环境。

GLD系列拥有高性能、低振动、低噪声的特点。
还有多种功能、如气镇阀、防逆流机制、大号油液位计。
该系列还配备有宽电压马达、符合国际标准。

GLD系列拥有高性能、低振动、低噪声的特点。
还有多种功能、如气镇阀、防逆流机制、大号油液位计。
该系列还配备有宽电压马达、符合国际标准。

GLD系列拥有高性能、低振动、低噪声的特点。
还有多种功能、如气镇阀、防逆流机制、大号油液位计。
该系列还配备有宽电压马达、符合国际标准。

GLD系列拥有高性能、低振动、低噪声的特点。
还有多种功能、如气镇阀、防逆流机制、大号油液位计。
该系列还配备有宽电压马达、符合国际标准。

GLD系列拥有高性能、低振动、低噪声的特点。
还有多种功能、如气镇阀、防逆流机制、大号油液位计。
该系列还配备有宽电压马达、符合国际标准。

GLD系列拥有高性能、低振动、低噪声的特点。
还有多种功能、如气镇阀、防逆流机制、大号油液位计。
该系列还配备有宽电压马达、符合国际标准。

•大范围电压马达 取得CE，cTUVus认证
•磁性联轴器实现轴封无油渗漏、使用寿命增长
•可防止逆流

•大范围电压马达 取得CE，cTUVus认证
•磁性联轴器实现轴封无油渗漏、使用寿命增长
•可防止逆流

GCD系列为直接驱动式油旋片真空泵、可用于有毒和腐蚀性气体的排气、是化学、制药应用中的理想产品。
气体接触部件的表面进行了化学处理。
从50L到200L/min有三种不同规格可选择。

GCD系列为直接驱动式油旋片真空泵、可用于有毒和腐蚀性气体的排气、是化学、制药应用中的理想产品。
气体接触部件的表面进行了化学处理。
从50L到200L/min有三种不同规格可选择。

GCD系列为直接驱动式油旋片真空泵、可用于有毒和腐蚀性气体的排气、是化学、制药应用中的理想产品。
气体接触部件的表面进行了化学处理。
从50L到200L/min有三种不同规格可选择。

是可以在油旋片真空泵的运转中捕集被排出的油烟（油雾）、再自动地回收到真空泵内的油雾过滤器。
从油旋片真空泵的排气口中排出的油烟（油雾）经常出现在大气压的附近。
因为油的飞散导致空气污浊、通过安装这个油雾过滤器解决此问题。
也可以仅更换滤芯（过滤器）。

是可以在油旋片真空泵的运转中捕集被排出的油烟（油雾）、再自动地回收到真空泵内的油雾过滤器。
从油旋片真空泵的排气口中排出的油烟（油雾）经常出现在大气压的附近。
因为油的飞散导致空气污浊、通过安装这个油雾过滤器解决此问题。
也可以仅更换滤芯（过滤器）。

是可以在油旋片真空泵的运转中捕集被排出的油烟（油雾）、再自动地回收到真空泵内的油雾过滤器。
从油旋片真空泵的排气口中排出的油烟（油雾）经常出现在大气压的附近。
因为油的飞散导致空气污浊、通过安装这个油雾过滤器解决此问题。
也可以仅更换滤芯（过滤器）。

是可以在油旋片真空泵的运转中捕集被排出的油烟（油雾）、再自动地回收到真空泵内的油雾过滤器。
从油旋片真空泵的排气口中排出的油烟（油雾）经常出现在大气压的附近。
因为油的飞散导致空气污浊、通过安装这个油雾过滤器解决此问题。
也可以仅更换滤芯（过滤器）。

是可以在油旋片真空泵的运转中捕集被排出的油烟（油雾）、再自动地回收到真空泵内的油雾过滤器。
从油旋片真空泵的排气口中排出的油烟（油雾）经常出现在大气压的附近。
因为油的飞散导致空气污浊、通过安装这个油雾过滤器解决此问题。
也可以仅更换滤芯（过滤器）。

本适配器需调整螺丝直径从G3/4调整为G1。

在不锈钢制造的本体中内置了特殊过滤器的排气口过滤器。
安装时需要KF-25型卡箍,中心环。
因为是密闭式的，所以不能更换过滤器。

在不锈钢制造的本体中内置了特殊过滤器的排气口过滤器。
安装时需要KF-25型卡箍,中心环。
因为是密闭式的，所以不能更换过滤器。

在不锈钢制造的本体中内置了特殊过滤器的吸气口过滤器。
有防止油向真空管道内反向扩散和防止粉状体混入真空泵的2个类型。
安装时需要KF-25型卡箍。
因为是密闭式的，所以不能更换过滤器。

在不锈钢制造的本体中内置了特殊过滤器的吸气口过滤器。
有防止油向真空管道内反向扩散和防止粉状体混入真空泵的2个类型。
安装时需要KF-25型卡箍。
因为是密闭式的，所以不能更换过滤器。

在不锈钢制造的本体中内置了特殊过滤器的吸气口过滤器。
有防止油向真空管道内反向扩散和防止粉状体混入真空泵的2个类型。
安装时需要KF-25型卡箍。
因为是密闭式的，所以不能更换过滤器。

在不锈钢制造的本体中内置了特殊过滤器的吸气口过滤器。
有防止油向真空管道内反向扩散和防止粉状体混入真空泵的2个类型。
安装时需要KF-25型卡箍。
因为是密闭式的，所以不能更换过滤器。

用来变更真空泵吸气口直径的吸气管可选购零件。
为了适应软管口型、KF法兰型、R螺丝型、接口等各种各样的口径，齐备了各种类型。
请参照对应表，选择相符的管道。

用来变更真空泵吸气口直径的吸气管可选购零件。
为了适应软管口型、KF法兰型、R螺丝型、接口等各种各样的口径，齐备了各种类型。
请参照对应表，选择相符的管道。

用来变更真空泵吸气口直径的吸气管可选购零件。
为了适应软管口型、KF法兰型、R螺丝型、接口等各种各样的口径，齐备了各种类型。
请参照对应表，选择相符的管道。

用来变更真空泵吸气口直径的吸气管可选购零件。
为了适应软管口型、KF法兰型、R螺丝型、接口等各种各样的口径，齐备了各种类型。
请参照对应表，选择相符的管道。

用来变更真空泵吸气口直径的吸气管可选购零件。
为了适应软管口型、KF法兰型、R螺丝型、接口等各种各样的口径，齐备了各种类型。
请参照对应表，选择相符的管道。

用来变更真空泵吸气口直径的吸气管可选购零件。
为了适应软管口型、KF法兰型、R螺丝型、接口等各种各样的口径，齐备了各种类型。
请参照对应表，选择相符的管道。

用来变更真空泵吸气口直径的吸气管可选购零件。
为了适应软管口型、KF法兰型、R螺丝型、接口等各种各样的口径，齐备了各种类型。
请参照对应表，选择相符的管道。

用来变更真空泵吸气口直径的吸气管可选购零件。
为了适应软管口型、KF法兰型、R螺丝型、接口等各种各样的口径，齐备了各种类型。
请参照对应表，选择相符的管道。

用来变更真空泵吸气口直径的吸气管可选购零件。
为了适应软管口型、KF法兰型、R螺丝型、接口等各种各样的口径，齐备了各种类型。
请参照对应表，选择相符的管道。

用来变更真空泵吸气口直径的吸气管可选购零件。
为了适应软管口型、KF法兰型、R螺丝型、接口等各种各样的口径，齐备了各种类型。
请参照对应表，选择相符的管道。

用来变更真空泵吸气口直径的吸气管可选购零件。
为了适应软管口型、KF法兰型、R螺丝型、接口等各种各样的口径，齐备了各种类型。
请参照对应表，选择相符的管道。

用来变更真空泵吸气口直径的吸气管可选购零件。
为了适应软管口型、KF法兰型、R螺丝型、接口等各种各样的口径，齐备了各种类型。
请参照对应表，选择相符的管道。

用来变更真空泵吸气口直径的吸气管可选购零件。
为了适应软管口型、KF法兰型、R螺丝型、接口等各种各样的口径，齐备了各种类型。
请参照对应表，选择相符的管道。

用来变更真空泵吸气口直径的吸气管可选购零件。
为了适应软管口型、KF法兰型、R螺丝型、接口等各种各样的口径，齐备了各种类型。
请参照对应表，选择相符的管道。

用来变更真空泵吸气口直径的吸气管可选购零件。
为了适应软管口型、KF法兰型、R螺丝型、接口等各种各样的口径，齐备了各种类型。
请参照对应表，选择相符的管道。

用来把吸气管更换成M20内螺纹的接口。
法兰型的接口必须在拆卸掉真空泵吸气管之后安装、但如果真空泵的形状是KF-25的话、KF型的接口无需拆卸标准吸气管也可以安装。
可装配的吸气管
软管口吸气管（Φ8、Φ12、Φ15、Φ18、Φ22）、A型吸气管／B型吸气管／C型吸气管

用来把吸气管更换成M20内螺纹的接口。
法兰型的接口必须在拆卸掉真空泵吸气管之后安装、但如果真空泵的形状是KF-25的话、KF型的接口无需拆卸标准吸气管也可以安装。
可装配的吸气管
软管口吸气管（Φ8、Φ12、Φ15、Φ18、Φ22）、A型吸气管／B型吸气管／C型吸气管

用来把吸气管更换成M20内螺纹的接口。
法兰型的接口必须在拆卸掉真空泵吸气管之后安装、但如果真空泵的形状是KF-25的话、KF型的接口无需拆卸标准吸气管也可以安装。
可装配的吸气管
软管口吸气管（Φ8、Φ12、Φ15、Φ18、Φ22）、A型吸气管／B型吸气管／C型吸气管

用来变更真空泵排气口直径的吸气管可选购零件。
为了适应软管口型、KF法兰型等各种各样的口径、齐备了各种类型。
请参照对应表、选择相符的管道。

用来变更真空泵排气口直径的吸气管可选购零件。
为了适应软管口型、KF法兰型等各种各样的口径、齐备了各种类型。
请参照对应表、选择相符的管道。

用来变更真空泵排气口直径的吸气管可选购零件。
为了适应软管口型、KF法兰型等各种各样的口径、齐备了各种类型。
请参照对应表、选择相符的管道。

用来变更真空泵排气口直径的吸气管可选购零件。
为了适应软管口型、KF法兰型等各种各样的口径、齐备了各种类型。
请参照对应表、选择相符的管道。

用来变更真空泵排气口直径的吸气管可选购零件。
为了适应软管口型、KF法兰型等各种各样的口径、齐备了各种类型。
请参照对应表、选择相符的管道。

PMB系列Ver.D是通用型罗茨泵。可以选择表面处理或大气压驱动型，可以在空冷下运转。

PRC系列是为对清洁度有特别要求的半导体、液晶制造工艺特别设计的罗茨泵。采用屏蔽式电机，不会从轴封部漏油。可选择大气压驱动型。

大型PMB系列、是采用皮带驱动的低速运转的罗茨泵。
与坚固的摇动活塞型油回转真空泵组合使用、在金属、汽车产业应用最多，在化学、医药、食品等产业也有广泛应用。

•低功耗
•使用磁性联轴器实现无漏油
•体积小巧，重量轻
•可在大气压下启动
•100V系统与220V系统下须设置驱动回路

使机械增压泵、辅助泵、管道紧密结合的小型高真空排气装置。使用与保养检修很简单，最适合用于实验。

真空泵用油SMR为了在寒冷时也能发挥好的起动性能粘度较低。
为了完全发挥出泵的性能，请尽量频繁地对油进行更换。

纯正油「ULVOIL」，不仅能够充分释放真空泵的性能，还可延长泵的寿命和维护保养时间，可实现包括运转经费在内的总成本的降低。

在耐腐蚀性泵GCD系列中请利用具有耐腐蚀性的SO-M。
SO-M在合成油中最适合GCD系列。

真空防潮箱由真空泵制造商提供。