多级罗茨型干泵 Model:HR
ULVAC
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关于Model:HR的介绍、购买、商讨
通过高温领域的泵体均热化，实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出的一款泵。
特点
- 高温区域均热化
实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出。
“Model:UR”可比“Model:HR”更加高温化。 - 氦气密封
通过搭载屏蔽电动机形成密闭结构，非常安全。 - 瞬停对策
采取了1000msec以内瞬停对策。 - 出色的耐腐蚀性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蚀性的特殊表面处理。降低腐蚀性气体排气时对泵内部的腐蚀。 - 通信功能
可读取与泵运转状态相关的数据、警告/报警履历。如果使用专用软件进行计算机通信，则可实现集中监控。
用途
- CVD装置
- 蚀刻装置
- 灰化装置
- ALD、ALH 等
规格
| 型号 | HR60 | HR90 | HR300 | HR600 | HR1200 | |||||||
| 使用泵 | 干式真空泵 | HR60 | HR90 | HR60 | HR90 | HR90 | ||||||
| 机械增压泵 | - | - | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | |||||||
| 最大 排气速度 |
50Hz | m3/h (L/min) |
62(1030) | 112(1860) | 359(5,980) | 653(10,900) | 1,012(16,900) | |||||
| 60Hz | m3/h (L/min) |
80(1333) | 126(2100) | 365(6,080) | 701(11,700) | 1,051(17,500) | ||||||
| 到达压力 | Pa | 5 | 0.67 | |||||||||
| 最大排气压力 （吸入圧力） |
大气压 *1 | |||||||||||
| 最大排气压力 （吸入圧力） |
Pa | 1~ 大气压 | ||||||||||
| 吸气口 (CE规格) | VG50(KF50) | VG80(KF50) | VG80(KF80) | VG100(KF100) | ||||||||
| 排气口 | KF40 | |||||||||||
| 质量 | kg | 180 | 245 | 275 | 370 | 420 | ||||||
| 电源 | 三相 | VAC (Hz) |
200(50/60), 220(60) | |||||||||
| 电流值 | 稳定时 | A | 7.1 (at 200V) |
11.2 (at 200V) |
7.8 (at 200V) |
12.9 (at 200V) |
15.4 (at 200V) |
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| 最大值 | A | 7.3 (at 200V) |
11.8 (at 200V) |
8.1 (at 200V) |
13.8 (at 200V) |
18.9 (at 200V) |
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| 冷却水一次圧力 | MPa | 0.1~0.3 | ||||||||||
| 冷却水出入口压差 | MPa | >0.1 | ||||||||||
| 冷却水流量 | L/min | >5.0 | ||||||||||
| 吹扫气 | 一次压力 | MPa | 0.1~0.5 | |||||||||
| 二次压力 | MPa | 0.05~0.1 | ||||||||||
| N2吹扫 | 轴 | SLM | 5 | |||||||||
| 气镇 | SLM | 0~45 | ||||||||||
*1 HR300、HR600、HR1200请勿在200Pa以上的吸入压力下连续运转。
尺寸图
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