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罗茨泵

PMB-D

ULVAC

PMB系列Ver.D是通用型罗茨泵。可以选择表面处理或大气压驱动型，可以在空冷下运转。

特点

通过安装空冷逆变器，可在整个压力范围内进行空冷运作。
可选多电压电机（200V级，多电压）
与通用电机兼容，因此也可以安装防爆电机（选件）。
表面处理，具有优异的耐腐蚀性（选项：T型）
主要部件采用阳极氧化铝处理，具有高表面硬度和优异的耐腐蚀性，并可防止泵内部的划伤和腐蚀。
大气压驱动型（选件：变频器）有效减少排气时间
可以与粗抽泵同时启动，与标准型相比，可以减少排气时间。

用途

蒸着、溅射、离子电镀
真空干燥、冷冻干燥、真空脱气
分析设备、检漏设备
气体置换、充填、真空隔断
热处理炉、溶解炉
其他各种真空设备

规格

型号*1				PMB100D	PMB300D	PMB600D	PMB1200D	PMB2400D
最大排气速度		50 Hz	m³/h (L/min)	95 (1,580)	280 (4,670)	500 (8,330)	1,000 (16,667)	2,000 (33330)	2,500 (41,667)
		60 Hz		115 (1,920)	330 (5,500)	600 (10,000)	1200 (20,000)	2,400 (40,000)	3,100 (51,667)
最大吸氣壓力		50 Hz	Pa	9.3×10³	1.2×10³	1.3×10³		2.0×103/8.0×10²
		60 Hz		6.2×10³	9.3×10²	1.1×10³		1.5×103/6.7×10²
最大允許壓差		50 Hz	Pa	8.0×10³	4.0×10³	7.3×10³		3.5×103/4.7×10³
		60 Hz		5.6×10³	3.3×10³	6.0×10³		3.0×103/4.7×10³
到达压力 *2			Pa	4.0×10^-1			6.7×10^-1
容許驅動壓力			Pa	～1.0×10⁵ ( 大气压开始型 )
电机 *3	出力		kW (poles)	0.4(2)	0.75(2)	2.2(2)	3.7(2)	7.5(2)
	200V 級	50 Hz	V	200				ー
		60 Hz		200/220				ー
	多电压电机	50 Hz	V	220～240 / 380～415				200～240/380～415
		60 Hz		208～240 / 380～460				200～240/380～460
液压油 *4				ULVOIL R-42
油量			L	0.35	0.7	1.5	1.9	4
冷卻方式 *5				空冷	空冷 / 水冷
冷却水	一次側壓力		Mpa	ー	0.3
	吸气/ 排气口壓差量		Mpa	ー	0.05
	冷却水量		L/min	ー	2		3
	水温 *6		℃	ー	5～30
吸气口 JIS B 2290				VG50 相当	VG80 相当		VG100 相当	VG200 相当
排气口 JIS-B-2290				VF50 相当	VF80 相当			VF200 相当
外直径(尺寸)			mm	267×576×180	321×685×260	362×784×320	417×970×340	520×1260×460
重量 *7			kg	26	51	82	115	260
標準粗抽泵				VD401	VD601	VD901	VS2401	PKS-070B	VS650B
符合规格				CE, cTUVus
选配件				未经表面处理的泵，紧定法兰，大气压启动类型（逆变器), 合成油或氟油类型，润滑腔排空口，不同电压电机
大气压驱动变频器规格/ 电压兼容			200V 级	I2,A2/200V～240V(50Hz/60Hz)
			400V 级	I4,A4/380V～480V(50Hz/60Hz)

Note)此目录使用 SI单位系统。使用非 SI单位制的转换如下。
　　4.0 x 10^-1 Pa = 3.0 × 10^-3 Torr
*1　标准产品没有表面处理（阳极氧化涂层)。您也可以选择表面处理作为选项。
*2　用皮拉尼真空计测定。测量条件 : 标准后备泵和标准真空油。
　　( 使用 McLeod 真空计测量时约为 4.0×10^-2 Pa。)
*3　只有 PMB100D 可以选择 200V级或多电压的电动机。不能使用防爆电动机的多电压选择。
*4　空冷式的使用油是R-72。还可选矿物油R-72、氟油J25F。
*5　通过选择变频器安装型号，将能够在整个压力范围内运行。
　　订购变频器规格时，请指定空冷或水冷规格。水冷逆变器无法进行空冷运行。
　　对于PMB600D，1200D和2400D，在300 Pa至4,000 Pa的压力范围内连续运行超过1小时可能会损坏泵。
　　在这种情况下，请选择水冷规格。
*6　在无结露的环境中使用。
*7　有关其他尺寸，请访问ULVAC网站并参考发布的CAD数据。

排气速度曲线

Without Inverter	Without Inverter
With Inverter : Air cooled	With Inverter : Air cooled
With Inverter : Water cooled	With Inverter : Water cooled

尺寸图

	PMB100D	PMB300D	PMB600D	PMB1200D	PMB2400D
W	267	321	362	417	520
D	576	685	784	970	1260
H	180	260	320	340	460