罗茨泵

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机械增压泵是一种可以显着提高抽速的泵。
通过与油回转真空泵或干泵等低真空泵组合，可以在低真空泵抽速降低的压力范围内显着提高抽速。
应用于半导体加工、真空蒸馏、真空包装、脱气、薄膜、真空冶金、低密度风洞实验、空间开发、真空浸渍、真空干燥等众多领域。

机械增压泵在壳体内有两个茧形转子，进入轴端部的驱动齿轮并沿相反方向同步旋转。从进气口进入的气体被截留在机壳和转子之间的空间中，随着转子的旋转，被排出到排气口侧，然后由后级的辅助泵释放到大气中。
转子在保持小间隙（0.1至0.3毫米）的情况下旋转，彼此或外壳不接触，并输送气体，因此转子室内不需要润滑油。因此，能够实现油蒸气污染少的真空排气。

罗茨泵

PMB-D

PMB系列Ver.D是通用型罗茨泵。可以选择表面处理或大气压驱动型，可以在空冷下运转。

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罗茨泵

PRC

PRC系列是为对清洁度有特别要求的半导体、液晶制造工艺特别设计的罗茨泵。采用屏蔽式电机，不会从轴封部漏油。可选择大气压驱动型。

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罗茨泵

PMB-C

大型PMB系列、是采用皮带驱动的低速运转的罗茨泵。
与坚固的摇动活塞型油回转真空泵组合使用、在金属、汽车产业应用最多，在化学、医药、食品等产业也有广泛应用。

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罗茨泵

MBS-053

•低功耗
•使用磁性联轴器实现无漏油
•体积小巧，重量轻
•可在大气压下启动
•100V系统与220V系统下须设置驱动回路

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