罗茨泵 PRC

ULVAC

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PRC系列是为对清洁度有特别要求的半导体、液晶制造工艺特别设计的罗茨泵。采用屏蔽式电机，不会从轴封部漏油。可选择大气压驱动型。

特点

无油
由于没有润滑油，因此对于水蒸气和溶剂等的蒸汽，也可以具有稳定性。
采用密封电机
通过采用密封电机，可以不需要大气/真空机械密封。可以在没有漏油的清洁环境中使用。
表面处理，具有优异的耐腐蚀性
主要部件采用阳极氧化铝处理，具有高表面硬度和优异的耐腐蚀性，并可防止泵内部的划伤和腐蚀。还提供可选的表面处理。
大气压驱动型（选件：变频器）有效减少排气时间
可以与粗抽泵同时启动，与标准型相比，可以减少排气时间。

用途

蒸着、溅射、离子电镀
真空干燥、冷冻干燥、真空脱气
分析设备、检漏设备
气体置换、充填、真空隔断
热处理炉、溶解炉
其他各种真空设备

规格

型号 *1			PRC-003A	PRC-006A	PRC-012A	PRC-018A
最大排气速度		50Hz	280 m³/h （4670 L/min）	500 m³/h （8330 L/min）	1000 m³/h （16700 L/min）	1500 m³/h （25000 L/min）
		60Hz	330 m³/h （5500 L/min）	600 m³/h （10000 L/min）	1200 m³/h （20000 L/min）	1800 m³/h （30000 L/min）
最大吸氣壓力		50Hz	1.2 x 10³Pa	1.3 x 10³Pa		1.2 x 10³Pa
		60Hz	9.3 x 10²Pa	1.1 x 10³Pa		9.3 x 10²Pa
最大允許壓差		50Hz	4.0 x 10³Pa	7.3 x 10³Pa		4.3 x 10³Pa
		60Hz	3.3 x 10³Pa	6.0 x 10³Pa		3.2 x 10³Pa
到达压力 *2			4.0 x 10^-1Pa		6.7 x 10^-1Pa
容許驅動壓力			～1.0 x 10⁵Pa（大气压开始型）
电机 *3	电机类型		密封三相感应电动机
	高效率等級		ー
	出力		0.75 kW( 2极数 )	2.2 kW( 2极数 )	3.7 kW ( 2极数 )	5.5 kW( 2极数 )
	电压 (200V系统)	50Hz	200 V
		60Hz	200/220 V
液压油 *4			ULVOIL R-42
油量			0.7 L	1.5 L	1.9 L
冷卻方式			水冷
冷却水	一次側壓力		0.3 Mpa
	吸气/排气口壓差量		0.01 Mpa以上
	冷却水量		2 L/min		3 L/min
	冷却水温 *5		5 ～ 30 ℃
吸气口 JIS-B-2290			VF80 相当 / ISO80F 或 ISO100F (可選)		VG100 相当 / ISO100F (可選)	VG150 相当 / ISO160F (可選)
排气口 JIS-B-2290			VF80 相当 / ISO80F 或 ISO100F (可選)			VF100 相当 / ISO100F (可選)
外直径(尺寸) W×D×H *6			296×575×260 mm	356×619×320 mm	406×759×340 mm	406×989×340 mm
重量			51 kg	86 kg	118 kg	150 kg
標準粗抽泵			VD601	VD901	VS2401	VS2401
符合规格			-
标准附属品			泵所需油量，使用说明书
选配件			未经表面处理的泵，紧定法兰，大气压启动类型（逆变器), 合成油或氟油类型，润滑腔排空口，不同电压电机

note)此目录使用 SI单位系统。使用非 SI单位制的转换如下。
　　4.0 x 10^-1 Pa = 3.0 × 10^-3 Torr
*1　标准模型带有表面处理 (阳极氧化涂层)。可选地，无需表面处理模型就可以选择。
*2　用皮拉尼真空计测定。 (测量条件 : 标准后备泵和标准真空油。)
*3　不能选配安全增强型防爆型和耐压防爆型法兰电机。
*4　油选项：可选择氟油（J25F）类型，请与我们联系。
*5　在无结露的环境中使用。
*6　有关其他尺寸，请访问ULVAC网站并参考发布的CAD数据。

排气速度曲线

PRC-003A/006A

PRC-012A/018A

尺寸图

	PRC-003A	PRC-006A	PRC-012A	PRC-018A
W	296	356	406	406
D	575	619	759	989
H	260	320	340	340

特点

无油
由于没有润滑油，因此对于水蒸气和溶剂等的蒸汽，也可以具有稳定性。

采用密封电机
通过采用密封电机，可以不需要大气/真空机械密封。可以在没有漏油的清洁环境中使用。

表面处理，具有优异的耐腐蚀性
主要部件采用阳极氧化铝处理，具有高表面硬度和优异的耐腐蚀性，并可防止泵内部的划伤和腐蚀。还提供可选的表面处理。

大气压驱动型（选件：变频器）有效减少排气时间
可以与粗抽泵同时启动，与标准型相比，可以减少排气时间。

规格

型号 *1			PRC-003A	PRC-006A	PRC-012A	PRC-018A
最大排气速度		50Hz	280 m³/h （4670 L/min）	500 m³/h （8330 L/min）	1000 m³/h （16700 L/min）	1500 m³/h （25000 L/min）
		60Hz	330 m³/h （5500 L/min）	600 m³/h （10000 L/min）	1200 m³/h （20000 L/min）	1800 m³/h （30000 L/min）
最大吸氣壓力		50Hz	1.2 x 10³Pa	1.3 x 10³Pa		1.2 x 10³Pa
		60Hz	9.3 x 10²Pa	1.1 x 10³Pa		9.3 x 10²Pa
最大允許壓差		50Hz	4.0 x 10³Pa	7.3 x 10³Pa		4.3 x 10³Pa
		60Hz	3.3 x 10³Pa	6.0 x 10³Pa		3.2 x 10³Pa
到达压力 *2			4.0 x 10^-1Pa		6.7 x 10^-1Pa
容許驅動壓力			～1.0 x 10⁵Pa（大气压开始型）
电机 *3	电机类型		密封三相感应电动机
	高效率等級		ー
	出力		0.75 kW( 2极数 )	2.2 kW( 2极数 )	3.7 kW ( 2极数 )	5.5 kW( 2极数 )
	电压 (200V系统)	50Hz	200 V
		60Hz	200/220 V
液压油 *4			ULVOIL R-42
油量			0.7 L	1.5 L	1.9 L
冷卻方式			水冷
冷却水	一次側壓力		0.3 Mpa
	吸气/排气口壓差量		0.01 Mpa以上
	冷却水量		2 L/min		3 L/min
	冷却水温 *5		5 ～ 30 ℃
吸气口 JIS-B-2290			VF80 相当 / ISO80F 或 ISO100F (可選)		VG100 相当 / ISO100F (可選)	VG150 相当 / ISO160F (可選)
排气口 JIS-B-2290			VF80 相当 / ISO80F 或 ISO100F (可選)			VF100 相当 / ISO100F (可選)
外直径(尺寸) W×D×H *6			296×575×260 mm	356×619×320 mm	406×759×340 mm	406×989×340 mm
重量			51 kg	86 kg	118 kg	150 kg
標準粗抽泵			VD601	VD901	VS2401	VS2401
符合规格			-
标准附属品			泵所需油量，使用说明书
选配件			未经表面处理的泵，紧定法兰，大气压启动类型（逆变器), 合成油或氟油类型，润滑腔排空口，不同电压电机

排气速度曲线

PRC-003A/006A

PRC-012A/018A

尺寸图

	PRC-003A	PRC-006A	PRC-012A	PRC-018A
W	296	356	406	406
D	575	619	759	989
H	260	320	340	340