多级罗茨型干泵 Model:CR
ULVAC
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关于Model:CR的介绍、购买、商讨
特点
- 由于排气室是非接触的并且不使用油,因此可以长时间稳定排气。
- 无需冷却水和氮气,有助于降低运行成本。
- 安装了DC密封电机实现节能,气密和减重。
- 气镇压机构可以排出蒸汽。
- 符合CE,cTUVus
用途
- 空气、惰性气体等洁净气体的真空排气
- 真空干燥等水蒸气的排出(需要使用气镇)
- 溅射,蒸发等真空设备
规格
| 型号 | CR16B | CR30B | CR60B-S | CR60B-T | CR300B | |
| 最大排气速度 | m3/h | 16 | 30 | 55 | 300 | |
| L/min | 280 | 500 | 920 | 5000 | ||
| 到达压力 *1 | Pa | ≦3.0 | ≦0.5 | |||
| 最大排气压力(吸入圧力) | 大气压 | |||||
| 最大排气口压力(排出圧力) | 大气压 | |||||
| 电源 *2 | 单相 : 100V, 200V 三相 : 200V | 单相:200V | 三相 : 200V | 三相 : 200V | ||
| 电机额定功率 | kW | 0.72 | 1.5 | 3.0 | ||
| 吸气口 | KF25 | KF40 | KF50 | |||
| 排气口 | KF25 | KF40 | ||||
| 质量 | kg | 35 | 48 | 100 | ||
| 符合规格 | CE、cTUVus | |||||
| 冷却方式 | 空冷 | |||||
| 气镇机构 *3 | 选配件 | |||||
| 最大水蒸气处理量 e *4 | g/h | <300 | <500 | |||
| 标准附件 | 电源用连接器、信号用连接器、使用说明书、空气过滤器、护套 | |||||
※1 极限压力是气镇阀内没有气体时的值。
※2 请从上表中选择使用电源的相位和电压,订购时注明。
※3 气镇用阀门为选装件。
※4 使用气镇时候的最大水蒸气处理量。水蒸气排气时请务必使用 气镇机构。
机身选项
| 型号 | CR16B | CR30B | CR60B | CR300B | |
| 气镇机构 | 针阀 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 |
| 电磁阀 + 针阀 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | |
| 橡胶脚垫 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | |
配件
| 型号 | CR16B | CR30B | CR60B | CR300B | |
| 消音器 | RS-01+套件 D | 〇 | 〇 | - | - |
| RS-01+套件 A | - | - | 〇 | - | |
| RS-01+套件 C | - | - | - | 〇 | |
| 简易型消音器 *1 | EFS-11-NW25/2/2516 | 〇 | 〇 | - | - |
| EFS-19-NW40/1 *2 | - | - | 〇 | 〇 | |
| 电源互换BOX | Ver.A→Ver.B | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 |
*1 由于是滤芯型消音器,因此需要更换维护。
*2 不能连接到管路上。(开放型)