螺杆型干泵 LS
ULVAC
打印・
保存产品手册
保存产品手册
关于LS的介绍、购买、商讨
LS系列真空泵被归为螺杆型干式真空泵。以往要提高排气速度就要消耗大量电能，我们通过独创的螺杆形状和节电技术的融合，使该系列产品成为兼顾高速排气和低功耗的干式真空泵。
在4种机型中，您可根据设备的大小、使用条件及用途选择最佳排气容量的泵。
在4种机型中，您可根据设备的大小、使用条件及用途选择最佳排气容量的泵。
-
LS120A
-
LS300A
-
LS600A
特点
■大气压附近的排气速度最大为80m3/h，与以往的真空泵相比，排气时间可缩短约20%。
■标配的专用消音器能解决干式真空泵特有的噪音问题。极限压力时的噪音值在61dB（A）以下，
这是一个在运转过程中也不会打扰到您的噪音等级（*1)）
■C规格标配的ECO-SHOCK技术是一种省电的爱发科独有技术。
该技术可将极限压力下的消耗电量降到0.6kW以下（*2)
■LS系列无需轴封气体。以氮气和空气等的排气为主的清洁工艺可降低运行成本（*3)
■希望进一步提高排气速度的话，建议您搭配机械增压泵使用。
通过组合使用排气速度可以达到120～1200m3/h。
（*1）LS120A-C时
（*2）C规格时
（*3）L规格还可以使用稀释气体。
 |
 |
用途
LS系列有两种规格。
首先是面向清洁工艺的规格。
为内置ECO-SHOCK的低功耗型，适于空气排气和N2排气等清洁工艺用途。
具体来说，包括溅射、镀膜、贴合/load lock室/TMP辅助等。
其次是面向轻工艺的规格。
具有表面处理和净化功能，适于水蒸汽和挥发性药液排气等轻工艺用途。
具体来说诸如真空干燥、冷冻干燥、灰化和一般工业用途等。
规格
| 型式 | （C：C式样） （L：L式样） |
LS120A | LS300A | LS600A | LS1200A | ||||
| C | L | C | L | C | L | C | L | ||
| 最大排气速度 | m3/h | 120 | 380 | 600 | 1000 | ||||
| 到达压力 | Pa | ≦0.6 | ≦0.1 | ||||||
| 电源电压 | 200V級：3相、50/60Hz、AC200-240V 或 400V級：3相、50/60Hz、AC380-480V | ||||||||
| 消费电力 概略值 *1 |
kW | 0.6 | 2.0 | 1.0 | 2.5 | 1.3 | 2.6 | 1.3 | 2.7 |
| 冷却水量 | L/min | >2.0 | >4.0 | ||||||
| Purge gas 量 *2 | SLM | ‐ | 0～50 | ‐ | 0～50 | ‐ | 0～50 | ‐ | 0～50 |
| 最大水蒸气 处理量 *3 |
kg/h | ‐ | 1.5 | ‐ | 1.5 | ‐ | 1.5 | ‐ | 1.5 |
| 噪音值*1 | dB(A) | 61 | 61 | 62 | 64 | ||||
| 吸气口 | KF50(水平)／ VG50(垂直) |
ISO-F-50 | ISO-F-80 | ISO-F-100 | |||||
| 排气口 | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | |||||
| 质量 | kg | 142 | 220 | 242 | 266 | ||||
| 适用规格 | CE、cTUVus | ||||||||
| 标准附属品 | 电源用连接器、防水电缆夹、信号用连接器、电源连接保护器 | ||||||||
| 本体选配件 | 电源电压：200V级或400V级、密封部材质：全氟弹性体(仅用于L型) | ||||||||
| 外部选配件 | MBP吸气口变换Flange、外壳排气Port、耐震固定用金属、LR互换Unit(吸气口、信号)、 Gas purge |
||||||||
*1：到达压力时
*2：C式样不可流通Purge gas
*3：Purge gas使用时的最大水蒸气处理量
Note)C式样不可对应无漏
排气速度曲线
|
|
|
|
尺寸图
