多级罗茨型干泵

节电配件

ECO-SHOCK

アルバック

ECO-SHOCK是一种通过搭载在当前使用的干泵上,从而实现大幅省电的划时代部件。

特点

  • 对节能的贡献
    干泵的耗电量最大可减少80%(与本公司产品相比)。
    此外,还有抑制干泵发热作用,降低空调设备的电力消耗。
    *不能用作抽排易燃、助燃、有毒性气体等的泵。
  • 干泵的性能改进有望提高极限压力性能
    可降低排气噪音
    所有压力范围内,排气速度均不会下降
    在1000Pa以下连续运转时间较长的用途下有非常好的效果
    *可安装在即使排气口为真空也毫无问题的干泵上。
  • 安装简单

用途

  • 用于排出空气,氮气,氩气等惰性气体的干泵用于排出空气,氮气,氩气等惰性气体的干泵
    溅射设备等的loading/unloading室用的干泵

规格

型式 ES10 ES4A
电源 规格 单相 AC100~220V 50/60Hz 单相  AC200~220V±5% 50/60Hz
最大功耗 65W *1 400W
控制 输入 远程启动/停止(接点 DC24V有電圧) 接点容量2.0A以上请准备无电源接点 *2
输出 过电流报警输出(接点 无电圧) 接点容量:DC24V 1.0A 启动确认、省电确认、本体警报、过电流警报
显示 运作时间显示 运作时间、启动确认、省电确认、本体警报、过电流警报
外观尺寸 本体单元 175mm×310mm×240mm 250mmx475mmx373mm
阀单元 Φ66mm×110mm(NW40) *3 选项
质量 本体单元:8.3kg 阀单元:800g 32kg
质量 G1/4" (INLET、OUTLET) 已安装连接器 Φ16mm管接头( 推荐管的长度为1.5m以内)
*1 干泵的使用工艺气体、吹扫气体 0Pam3/s
*2 手动启动/停止时可以通过跳转控制连接器的PIN,来ON/OFF电路保护器。
*3 ES10標配一個閥單元

效果例

ES4A

弊社泵型号 LR1800 LR3601-R
排气速度*1 罗茨泵 1784m3/hr(29700L/min) 3200m3/hr(53333L/min)
干泵 237m3/hr(3950L/min) 440m3/hr(7333L/min)
平均功耗*2,3 极限压力运作时 没有 6.0kW 7.8kW
ES4A安装时 2.7kW 3.2kW
消减率 55% 59%
反复排气时 *4 没有 7.2kW 9.6kW
ES4A安装时 5.7kW 6.3kW
消减率 21% 34%

*1 电源频率60Hz
*2 密封气体5SLM
*3 包含ECO-SHOCK ES4A功耗
*4 300L腔室反复排气60秒节拍的测量示例。

ES10

型号名称 LR60 LR90 LR180
排气速度*1 1300L/min 2100L/min 3980L/min
实测功耗*2 2.1kW 3.6kW 6.6kW
ECO-SHOCK安装后的实测功耗*2 *3 *4 0.7kW 1.0kW 1.6kW
电力消减率 67% 72% 76%

*1 电源频率60Hz
*2 功耗为极限压力时的代表值
*3 包括ECO-SHOCK的功耗
*4 密封气体、吹扫气体流量0Pa・m3/s时。取决于密封气体、吹扫气体流量

尺寸图

ECO-SHOCK_en_size.png

阀门单元 尺寸图

  • ES4A NW40ES4A KF40Valve unit_size.png
  • ES4A NW50ES4A KF50Valve unit_size.png
  • ES10
ES10_KL5000-023B__A3K Model_Vaalve unit_size.png

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