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多级罗茨型干泵
节电配件
ECO-SHOCK
アルバック
ECO-SHOCK是一种通过搭载在当前使用的干泵上，从而实现大幅省电的划时代部件。
特点
- 对节能的贡献
干泵的耗电量最大可减少80%（与本公司产品相比）。
此外，还有抑制干泵发热作用，降低空调设备的电力消耗。
*不能用作抽排易燃、助燃、有毒性气体等的泵。 - 干泵的性能改进有望提高极限压力性能
可降低排气噪音
所有压力范围内，排气速度均不会下降
在1000Pa以下连续运转时间较长的用途下有非常好的效果
*可安装在即使排气口为真空也毫无问题的干泵上。 - 安装简单
用途
- 用于排出空气，氮气，氩气等惰性气体的干泵用于排出空气，氮气，氩气等惰性气体的干泵
溅射设备等的loading/unloading室用的干泵
规格
| 型式 | ES10 | ES4A | |||
| 电源 | 规格 | 单相 AC100～220V 50/60Hz | 单相 AC200～220V±5% 50/60Hz | ||
| 最大功耗 | 65W *1 | 400W | |||
| 控制 | 输入 | 远程启动/停止（接点 DC24V有電圧） 接点容量2.0A以上请准备无电源接点 *2 | |||
| 输出 | 过电流报警输出(接点 无电圧) 接点容量：DC24V 1.0A | 启动确认、省电确认、本体警报、过电流警报 | |||
| 显示 | 运作时间显示 | 运作时间、启动确认、省电确认、本体警报、过电流警报 | |||
| 外观尺寸 | 本体单元 | 175mm×310mm×240mm | 250mmx475mmx373mm | ||
| 阀单元 | Φ66mm×110mm(NW40) *3 | 选项 | |||
| 质量 | 本体单元：8.3kg 阀单元：800g | 32kg | |||
| 质量 | G1/4" (INLET、OUTLET) 已安装连接器 | Φ16mm管接头( 推荐管的长度为1.5m以内) | |||
*1 干泵的使用工艺气体、吹扫气体 0Pam3/s
*2 手动启动/停止时可以通过跳转控制连接器的PIN，来ON/OFF电路保护器。
*3 ES10標配一個閥單元
效果例
ES4A
| 弊社泵型号 | LR1800 | LR3601-R | ||
| 排气速度*1 | 罗茨泵 | 1784m3/hr（29700L/min） | 3200m3/hr(53333L/min） | |
| 干泵 | 237m3/hr（3950L/min） | 440m3/hr(7333L/min） | ||
| 平均功耗*2,3 | 极限压力运作时 | 没有 | 6.0kW | 7.8kW |
| ES4A安装时 | 2.7kW | 3.2kW | ||
| 消减率 | 55% | 59% | ||
| 反复排气时 *4 | 没有 | 7.2kW | 9.6kW | |
| ES4A安装时 | 5.7kW | 6.3kW | ||
| 消减率 | 21% | 34% | ||
*1 电源频率60Hz
*2 密封气体5SLM
*3 包含ECO-SHOCK ES4A功耗
*4 300L腔室反复排气60秒节拍的测量示例。
ES10
| 型号名称 | LR60 | LR90 | LR180 |
| 排气速度*1 | 1300L/min | 2100L/min | 3980L/min |
| 实测功耗*2 | 2.1kW | 3.6kW | 6.6kW |
| ECO-SHOCK安装后的实测功耗*2 *3 *4 | 0.7kW | 1.0kW | 1.6kW |
| 电力消减率 | 67% | 72% | 76% |
*1 电源频率60Hz
*2 功耗为极限压力时的代表值
*3 包括ECO-SHOCK的功耗
*4 密封气体、吹扫气体流量0Pa・m3/s时。取决于密封气体、吹扫气体流量
尺寸图
阀门单元 尺寸图
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