多级罗茨型干泵
RDA 系列
RDA-501H
アルバック
•大排气量、小型尺寸。
•不会发生真空油的返流和油雾。
•无摩擦部分、长寿命。
•不会发生真空油的返流和油雾。
•无摩擦部分、长寿命。
特点
- 等达到油回转泵同样性能的干泵。
- 可以从大气压力到最大压力范围内运行
- 应对水蒸气能力强。
- 不需要冷却水
- 单相/三相电源都可适用。
- 无滑动部件,适用寿命长。
用途
- Analytical equipment.
- Gas recovery system.
- Coating equipment.
- Back pump for TMP.
- Helium leak detector.
- Manufacturing process for semiconductor.
规格
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※:F.A=Flush. Air
对应标准/电压
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●:标准、○:可选对应、-:对应不可
使用上的注意
1 粉末和生成物吸入会导致泵损坏。
请使用吸气阱。
2 吸入有害气体如爆炸性气体,易燃气体,有毒气体,腐蚀性气体,有机溶剂气体等,可能会因气体本身,爆炸或火灾而导致泵故障。
3 仅供室内使用
请勿安装在下雨或淹水的地方或室外。