涡旋式干泵 Model:DIS-90

ULVAC

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•双绕式涡旋泵、含1根轨道螺旋和2根固定螺旋。
•可在大气压下实现操作运行。
•可实现高极限真空。
•低振动低噪音。
•维护周期可通过计时表控制。

特点

结构紧凑，排气量大。
干式真空泵的最高压力水平。
内置自动复位型热保护器等安全设计。
通过空气冲洗抑制水分凝结。

用途

分析设备
气体回收系统
涂装设备
TMP的背泵
氦气检漏仪
半导体制造工艺

规格

	Unit	50Hz	60Hz
设计排气速度度^※1	L/min	90	108
极限压力	Pa (kPa)	5
使用电动机^※2		单相, 100/115/200/230V, 150W, 4P 电容器启动・運転
全负荷电流	A	2.6/1.3/1.6	2.1/2.2/1.1/1.1
全负荷电流	A	(100/200/230V)	(100/115/200/230V)
重量	kg	14
吸气口径		KF-25
排气口径		KF-16
使用环境温度范围	℃	5～40
水蒸气处理量	g/day	≦5 以下（AF開時^※3, 室温25℃, 湿度60％以下）
噪音水平	dB	≦52 （AF開時^※3, ≦57）
最大尺寸	mm	214(W)×308(L)×225(H)

※1：设计排气速度时当抽取大气压气体时实际排气速度的1.2倍。
※2：不包括电源插头和电源线。
※3：AF = Air Flash
　　　空气冲洗操作不仅排出残留在泵中的水，而且还具有恢复极限力的效果。

对应标准/电压

型号	认证标准^※	ＣＥ自我宣言	1Φ 100V系	1Φ 200V系	3Φ 200V系	3Φ 400V系
DIS-90	cTUV	●	● （可以通过更换端子板切换）		－	－

●：标准、○：可选对应、－：对应不可
※ｃＴＵＶｕｓ认证：本产品是通过国际第三方产品安全测试和认证，符合美国标准的高质量产品。

使用上的注意

１	粉末和生成物吸入会导致泵损坏。请使用吸气阱。
２	吸入有害气体如爆炸性气体，易燃气体，有毒气体，腐蚀性气体，有机溶剂气体等，可能会因气体本身，爆炸或火灾而导致泵故障。

尺寸图

排气速度曲线

涡旋式干泵

Model:DIS-90

ULVAC

•双绕式涡旋泵、含1根轨道螺旋和2根固定螺旋。
•可在大气压下实现操作运行。
•可实现高极限真空。
•低振动低噪音。
•维护周期可通过计时表控制。

特点

结构紧凑，排气量大。
干式真空泵的最高压力水平。
内置自动复位型热保护器等安全设计。
通过空气冲洗抑制水分凝结。

用途

分析设备
气体回收系统
涂装设备
TMP的背泵
氦气检漏仪
半导体制造工艺

规格

	Unit	50Hz	60Hz
设计排气速度度^※1	L/min	90	108
极限压力	Pa (kPa)	5
使用电动机^※2		单相, 100/115/200/230V, 150W, 4P 电容器启动・運転
全负荷电流	A	2.6/1.3/1.6	2.1/2.2/1.1/1.1
全负荷电流	A	(100/200/230V)	(100/115/200/230V)
重量	kg	14
吸气口径		KF-25
排气口径		KF-16
使用环境温度范围	℃	5～40
水蒸气处理量	g/day	≦5 以下（AF開時^※3, 室温25℃, 湿度60％以下）
噪音水平	dB	≦52 （AF開時^※3, ≦57）
最大尺寸	mm	214(W)×308(L)×225(H)

※1：设计排气速度时当抽取大气压气体时实际排气速度的1.2倍。
※2：不包括电源插头和电源线。
※3：AF = Air Flash
　　　空气冲洗操作不仅排出残留在泵中的水，而且还具有恢复极限力的效果。

对应标准/电压

型号	认证标准^※	ＣＥ自我宣言	1Φ 100V系	1Φ 200V系	3Φ 200V系	3Φ 400V系
DIS-90	cTUV	●	● （可以通过更换端子板切换）		－	－

●：标准、○：可选对应、－：对应不可
※ｃＴＵＶｕｓ认证：本产品是通过国际第三方产品安全测试和认证，符合美国标准的高质量产品。

使用上的注意

１	粉末和生成物吸入会导致泵损坏。请使用吸气阱。
２	吸入有害气体如爆炸性气体，易燃气体，有毒气体，腐蚀性气体，有机溶剂气体等，可能会因气体本身，爆炸或火灾而导致泵故障。

尺寸图

排气速度曲线