涡旋式干泵
DIS・DISL 系列
DIS-501
アルバック
•双绕式涡旋泵、含1根轨道螺旋和2根固定螺旋。
•可在大气压下实现操作运行。
•可实现高极限真空。
•低振动低噪音。
•维护周期可通过计时表控制。
•可在大气压下实现操作运行。
•可实现高极限真空。
•低振动低噪音。
•维护周期可通过计时表控制。
特点
- 结构紧凑,排气量大。
- 干式真空泵的最高压力水平。
- 内置自动复位型热保护器(单相用)安全设计。。
- 通过空气冲洗抑制水分凝结。。
用途
- 分析设备
- 气体回收系统
- 涂装设备
- TMP的背泵
- 氦气检漏仪
- 半导体制造工艺
规格
|
※1:设计排气速度时当抽取大气压气体时实际排气速度的1.2倍。
※2:不包括电源插头和电源线。
※3:AF = Air Flash
空气冲洗操作不仅排出残留在泵中的水,而且还具有恢复极限力的效果。
※2:不包括电源插头和电源线。
※3:AF = Air Flash
空气冲洗操作不仅排出残留在泵中的水,而且还具有恢复极限力的效果。
对应标准/电压
|
●:标准、○:可选对应、-:对应不可
※cTUVus认证 : 本产品是通过国际第三方产品安全测试和认证,符合美国标准的高质量产品。
※cTUVus认证 : 本产品是通过国际第三方产品安全测试和认证,符合美国标准的高质量产品。
使用上的注意
1
|
粉末和生成物吸入会导致泵损坏。
请使用吸气阱。 |
2
|
吸入有害气体如爆炸性气体,易燃气体,有毒气体,腐蚀性气体,有机溶剂气体等,可能会因气体本身,爆炸或火灾而导致泵故障。
|
3
|
三相规格没有电机保护功能。
请务必安装保护装置,如漏电断路器。 |
尺寸图
DIS-501(Single phase)
DIS-501(Three phase)