涡旋式干泵

DIS・DISL 系列

DIS-501

アルバック

•双绕式涡旋泵、含1根轨道螺旋和2根固定螺旋。
•可在大气压下实现操作运行。
•可实现高极限真空。
•低振动低噪音。
•维护周期可通过计时表控制。

特点

  • 结构紧凑,排气量大。
  • 干式真空泵的最高压力水平。
  • 内置自动复位型热保护器(单相用)安全设计。
  • 通过空气冲洗抑制水分凝结。

用途

  • 分析设备
  • 气体回收系统
  • 涂装设备
  • TMP的背泵
  • 氦气检漏仪
  • 半导体制造工艺

规格

 
Unit 50Hz 60Hz
设计排气速度度※1
L/min 500 600
极限压力
Pa 1.0
使用电动机※2
单相   100/115/200/230V, 600W, 4P , 电容器启动・運転
三相 200/208/230/380/400/415/460V, 600W, 4P
全负荷电流
单相 A 8.5/4.3/3.9
(100/200/230V)
10.0/8.6/4.8/4.0
(100/115/200/230V)
三相 2.7/1.57/1.57/1.63
(200/380/400/415V)
2.8/2.6/2.5/1.47
(200/208/230/460V)
重量
单相 kg 44.0
三相 38.0
吸气口径
  KF-40
排气口径
  KF-25
使用环境温度范围
5~40
水蒸气处理量
g/day ≦25以下(AF开时※3, 室温25℃, 湿度60%以下)
噪音水平
单相 dB ≦62(AF開時※3, ≦70)
三相 ≦60(AF開時※3, ≦68)
最大尺寸
单相 mm 290(W)×443(L)×397(H)
三相 292(W)×372(L)×397(H)
※1:设计排气速度时当抽取大气压气体时实际排气速度的1.2倍。
※2:不包括电源插头和电源线。
※3:AF = Air Flash
      空气冲洗操作不仅排出残留在泵中的水,而且还具有恢复极限力的效果。

对应标准/电压

型号 认证标准 CE自我宣言 1Φ、100V系 1Φ、200V系 3Φ、200V系 3Φ、400V系
DIS-501 cTUV
(可以通过更换端子板切换)

(可以通过更换端子板切换)
●:标准、○:可选对应、-:对应不可
cTUVus认证 : 本产品是通过国际第三方产品安全测试和认证,符合美国标准的高质量产品。

使用上的注意

粉末和生成物吸入会导致泵损坏。
请使用吸气阱。
吸入有害气体如爆炸性气体,易燃气体,有毒气体,腐蚀性气体,有机溶剂气体等,可能会因气体本身,爆炸或火灾而导致泵故障。
三相规格没有电机保护功能。
请务必安装保护装置,如漏电断路器。

尺寸图

DIS-501(Single phase)

zu_dis501_1fai.gif


> CAD数据下载(DXF)

DIS-501(Three phase)

zu_dis501.gif

> CAD数据下载(DXF)

排气速度曲线

curve_dis501.gif

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