涡旋式干泵

DIS・DISL 系列

DIS-90

アルバック

•双绕式涡旋泵、含1根轨道螺旋和2根固定螺旋。
•可在大气压下实现操作运行。
•可实现高极限真空。
•低振动低噪音。
•维护周期可通过计时表控制。

特点

  • 结构紧凑,排气量大。
  • 干式真空泵的最高压力水平。
  • 内置自动复位型热保护器等安全设计。
  • 通过空气冲洗抑制水分凝结。

用途

  • 分析设备
  • 气体回收系统
  • 涂装设备
  • TMP的背泵
  • 氦气检漏仪
  • 半导体制造工艺

规格

  Unit 50Hz 60Hz
设计排气速度度※1
L/min 90 108
极限压力
Pa (kPa) 5.0
使用电动机※2
  单相, 100/115/200/230V, 150W, 4P 电容器启动・運転
全负荷电流
A 2.6/1.3/1.6
(100/200/230V)
2.1/2.2/1.1/1.1
(100/115/200/230V)
重量
kg 14.0
吸气口径
  KF-25
排气口径
  KF-16
使用环境温度范围
5~40
水蒸气处理量
g/day ≦5 以下 (AF開時※3, 室温25℃, 湿度60%以下)
噪音水平
dB ≦52 (AF開時※3, ≦57)
最大尺寸
mm 214(W)×308(L)×225(H)
※1:设计排气速度时当抽取大气压气体时实际排气速度的1.2倍。
※2:不包括电源插头和电源线。
※3:AF = Air Flash
      空气冲洗操作不仅排出残留在泵中的水,而且还具有恢复极限力的效果。

对应标准/电压

型号 认证标准 CE自我宣言 1Φ、100V系 1Φ、200V系 3Φ、200V系 3Φ、400V系
DIS-90 cTUV
(可以通过更换端子板切换)
●:标准、○:可选对应、-:对应不可
cTUVus认证 : 本产品是通过国际第三方产品安全测试和认证,符合美国标准的高质量产品。

使用上的注意

粉末和生成物吸入会导致泵损坏。
请使用吸气阱。
吸入有害气体如爆炸性气体,易燃气体,有毒气体,腐蚀性气体,有机溶剂气体等,可能会因气体本身,爆炸或火灾而导致泵故障。

尺寸图

zu_dis090.gif

> CAD数据下载(DXF)

排气速度曲线

curve_dis090.gif

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