真空アングルバルブ（L型バルブ）の構造と特徴

シール構造は、「Oリング式」「ベローズ式」から選択できます。

構造図
真空レベル/ 使用圧力	V	≦10-5Pa	V	≦10-5Pa	V	≦10-5Pa	V	≦10-5Pa
	HV	≦10-6Pa	HV	≦10-6Pa	HV	≦10-6Pa	HV	≦10-6Pa
	UHV	≦10-8Pa	UHV	≦10-8Pa	UHV	≦10-8Pa	UHV	≦10-8Pa
	XHV	≦10-9Pa	XHV	≦10-9Pa	XHV	≦10-9Pa	XHV	≦10-9Pa
シリーズ	VLP-SA VLB-SA VLP-U		VLP-SB VLH-SB VLB-SB		VLP-MB VLH-MB		VUH

• VL□-SAは、軸シール（シャフト部）にOリング（FKM）シールを採用し、長寿命です。
• VLP-Uは、内部シール（シャフト部）にOリング（NBR）シールを採用し、異物混入にも強い構造です。
• VL□-SBは、軸シール（シャフト部）にベローズシール式を採用し、放出ガスを低減させています。
• VLP-MBは、外部シール（ボンネットフランジ部）にメタルシールを採用し、200℃のベーキング（バルブ開状態）が可能です。

接続フランジ

接続フランジは、「JIS-VF」「ISO-KF」「ISO-K」「ISO-CF」 4タイプから選択できます。 フランジ口径サイズは、16A～350AまではSUS製（Oリングはフッ素ゴム：FKM）、 500A以上の大型はSS製（Oリングはニトリルゴム：NBR）で統一です。

*1　商品型式に入る数字は、◆「呼径：A(ISO)mm」、◇「呼径：A(JIS)mm」、●「呼径：B inch」です。 ◇「呼径：A(JIS)mm」は、JIS B2290 附属書（保守フランジ）の規格です。

開閉センサ（オプション）

• <*>旧VLP用電磁弁を新型バルブに使用する事は可能です。
• 但し旧VLP-U6用、VLP-U14用、及びVLP-U14R用の電磁弁を新型バルブに流用の場合、動作時間が若干遅くなる可能性があります。

※新ラインアップでは電磁弁の取り扱いはしていませんので、お客様にてご用意願います。