真空バルブの基礎知識

アルバックの真空アングルバルブ(L型バルブ)は、 SUS製に統一、現行のJISフランジ仕様に加え、ISOフランジを充実し、開閉は複動・単動シリンダに手動まで、接続フランジタイプは4種類、サイズは16A(5/8inch)~900A(36inch)までと幅広いニーズにお応えできるラインアップです。


※面間寸法、シリンダ圧空供給口径共に一部の機種で旧機種との互換性がありません。

angle-valve-types.png

駆動方法と使用圧力

カテゴリ シリーズ

VLP 真空アングルバルブ(複動式)

VLP-SA 真空アングルバルブ(複動式/ステンレス/Oリングシール)
VLP-SB 真空アングルバルブ(複動式/ステンレス/ベローズシール)
VLP-MB 真空アングルバルブ(複動式/ステンレス/超高真空)
VLP-U 真空アングルバルブ(複動式/鉄/Oリングシール)

VLB 真空アングルバルブ(単動式)

VLB-SA 真空アングルバルブ(単動式/ステンレス/Oリングシール)
VLB-SB 真空アングルバルブ(単動式/ステンレス/ベローズシール)
VLH 真空アングルバルブ(手動式 / ハンドル式) VLH-SB 真空アングルバルブ(手動式/ステンレス/ベローズシール)
VLH-MB 真空アングルバルブ(手動式/ステンレス/超高真空)

シリーズ 真空レベル*1 使用圧力範囲
[Pa(abs)]
形状 駆動方式 ボディ材質 許容ベーキング温度
[℃]*2
許容逆差圧
[MPa]
VLP-SA V 大気圧~10-5 アングル 複動 SUS304 150 0.1
VLP-SB HV 大気圧~10-6
VLP-MB UHV 大気圧~10-8 150(200)
VLP-U V 大気圧~10-5 SS400+
Niメッキ
60 不可
VLB-SA 単動NC*3 SUS304 150 0.1
VLB-SB HV 大気圧~10-6
VLH-SB 手動
VLH-MB UHV 大気圧~10-8 150(200)

*1 真空レベルと構造の関係は、「シール構造の説明」を参照下さい。 
*2 駆動部は60℃以下、( )内はバルブ"開"状態
*3 単動NC・・・ノーマルクローズ(圧空解放時に自動的にクローズ)

駆動方式:シリンダ構造

駆動方式は、 「複動シリンダ」「単動シリンダ」「手動」 3タイプから選択でき、シリンダは全機種で許容逆差圧(0.10MPa)対応です。

arrow_cylinder

複動シリンダ:DAdouble acting)

double-acting-cylinder.png

単動シリンダ:NCnormally closed)

single-acting-cylinder.png

シール構造

シール構造は、「Oリング式」「ベローズ式」から選択できます。

seal-structure.png

構造図 seal-structure-a1.png seal-structure-b1.png seal-structure-c1.png seal-structure-d1.png
真空レベル/
使用圧力
V ≦10-5Pa V ≦10-5Pa V ≦10-5Pa V ≦10-5Pa
HV ≦10-6Pa HV ≦10-6Pa HV ≦10-6Pa HV ≦10-6Pa
UHV ≦10-8Pa UHV ≦10-8Pa UHV ≦10-8Pa UHV ≦10-8Pa
XHV ≦10-9Pa XHV ≦10-9Pa XHV ≦10-9Pa XHV ≦10-9Pa
シリーズ VLP-SA
VLB-SA
VLP-U
VLP-SB
VLH-SB
VLB-SB
VLP-MB
VLH-MB
VUH
  • VL□-SAは、軸シール(シャフト部)にOリング(FKM)シールを採用し、長寿命です。
  • VLP-Uは、内部シール(シャフト部)にOリング(NBR)シールを採用し、異物混入にも強い構造です。
  • VL□-SBは、軸シール(シャフト部)にベローズシール式を採用し、放出ガスを低減させています。
  • VLP-MBは、外部シール(ボンネットフランジ部)にメタルシールを採用し、200℃のベーキング(バルブ開状態)が可能です。

接続フランジ

接続フランジは、「JIS-VF」「ISO-KF」「ISO-K」「ISO-CF」 4タイプから選択できます。 フランジ口径サイズは、16A~350AまではSUS製(Oリングはフッ素ゴム:FKM)、 500A以上の大型はSS製(Oリングはニトリルゴム:NBR)で統一です。

angle-valve-table01.png

*1 商品型式に入る数字は、◆「呼径:A(ISO)mm」、◇「呼径:A(JIS)mm」、●「呼径:B inch」です。 ◇「呼径:A(JIS)mm」は、JIS B2290 附属書(保守フランジ)の規格です。

■ISO-KFフランジ
KF...Klein Flansch(ドイツ語:小口径フランジ)
規格...ISO 2861(クイックリリースカップリング)
別名称...クイックカップリング・NWフランジ

ISO-KF.png

■ISO-Kフランジ
K...Klampe(ドイツ語:クランプ)
規格...ISO 1609 / JIS B2290
別名称...MFフランジ・LFフランジ
*)クローを用いてISO-Fフランジへ変換可能

ISO-K.png

■JIS-VF/VGフランジ
規格...JIS B2290 附属書(保守用フランジ)
*)JISフランジの溝のない方(VFフランジ)
JISフランジの溝のある方(VGフランジ)

JIS-VF-VG.png

■ISO-CFフランジ
CF...ConFlat
規格...ISO 3669-2(ナイフエッジフランジ)
別名称...ベーカブルフランジ・UFCフランジ・ICFフランジ

ISO-CF.png

開閉センサ(オプション)

w8h-tpc.png

対象バルブ VLP-SA/SB/MB
VLB-SA/SB
VLP-U20/U22 VLP-U36
型式 W8H D-A54/BT-16(SMC) D-A54/BT-20(SMC)
開閉センサ原理 リードスイッチ(二線式,
有接点,ケーブル長1m)
リードスイッチ(二線式,有接点,ケーブル長0.5m)
開閉センサ接点容量 DC24V/5~50mA
AC110V/5~20mA
DC24V/5~50mA
AC100V/5~25mA
AC200V/5~12.5mA
バルブの開閉位置表示 リードスイッチLED表示
バルブへの取付 取付無し 取付有り

バルブ駆動用 推奨電磁弁

VLP-S.png

  • <*>旧VLP用電磁弁を新型バルブに使用する事は可能です。
  • 但し旧VLP-U6用、VLP-U14用、及びVLP-U14R用の電磁弁を新型バルブに流用の場合、動作時間が若干遅くなる可能性があります。

※新ラインアップでは電磁弁の取り扱いはしていませんので、お客様にてご用意願います。

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