無料ダウンロード | 薄膜形成の基礎ガイド（蒸着編）

R&D用 蒸着装置の検討をサポートする必携書！
『薄膜形成の基礎ガイド（蒸着編）』のススメ

蒸着を用いた研究開発に日頃、携わっておいででしょうか？　蒸着の導入に興味はございませんか？

蒸着とは、金属や酸化物などを蒸発させて素材の表面に付着させる表面処理あるいは薄膜を形成する手法です。

液晶などのディスプレイや半導体の製造に利用されているのはよく知られていますが、メガネの反射防止膜やスナック菓子の袋の内側のアルミフィルムの形成にも蒸着が用いられています。また電子顕微鏡で昆虫を観察する際に、予め昆虫に金属膜を付けて観察しやすくするためにも蒸着が利用されています。めずらしいところでは、義肢と神経をつなぐ神経電極の成膜やルアーの装飾、防汚コート、贈り物用の海苔に金で文字を蒸着するという応用事例もあります。

長い歴史の中で様々な開発、改善、改良がなされましたが、研究テーマを実現できる薄膜の品質を担保するには、「蒸着」に対する正しい知識と理解は必要不可欠です。

アルバックではお客様に業務をより効率的に、正確に、そして快適に遂行していただきたいという思いから、蒸着の基本情報をまとめた「薄膜形成の基礎ガイド（蒸着編）」を作成いたました。
本誌では、その薄膜形成方法の中でも特にR&D用に数多く用いられている蒸着という成膜方式について、成膜形成法上の位置付けや、成膜作成上の注意点をご紹介します。

既に蒸着について知見がある方は、研究室内の教育資料として、
これからの導入にご興味がある方は、検討を進める上でのサポート資料として、本基礎ガイドはを活用いただける資料になっております。

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