ドライ真空ポンプ Model:ZR120A-S 販売開始のお知らせ|お知らせ|最新情報|ULVAC SHOWCASE

お知らせ

2026年07月31日

アルバックは、多段ルーツ型ドライ真空ポンプ Model:ZR120A-Sの販売を開始いたしました。
ドライ真空ポンプの運転に必要なインターフェースを一体化することで設置の自由度を高めるとともに、各種センサ情報をコントローラ上でモニタリングできるため、運転状態の効率的な確認が可能です。
また、低騒音、省フットプリント、省エネルギーを実現し、半導体・電子部品製造工程をはじめとする軽負荷真空プロセス用途に対応します。
製品の詳細につきましては、製品ページをご覧ください。

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