プロセスガスモニタ 「Qulee CGM2-101 / 102」 発売開始のお知らせ

貴社益々ご清栄のこととお慶び申し上げます。
平素は格別のお引き立てを賜り厚くお礼申し上げます。
さて、この度、以下の製品を販売開始することになりましたのでご案内申し上げます。
今後とも、弊社、ULVAC商品をお引き立て頂けますよう、宜しくお願い致します。

新製品

プロセスガスモニタ Qulee CGM2-101 / 102

特長

スパッタリング装置対応Qulee CGM2 seriesに、質量数1～100amuまで測定可能な新たな機種が追加されました。 Airリーク、残留水分監視に加えて、冷媒リーク、摺動部のグリース、ハイドロカーボン、洗浄液の残渣などの測定も可能となりました。 ラインアップの追加により、お客様の用途に応じた選択がさらに可能となりました。