簡単な成膜モニタリングから膜厚制御まで幅広い用途に
水晶式成膜コントローラ Model: CRTM-6000G
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Model: CRTM-6000Gの導入・購入・検討について
CRTM-6000Gは優れた分解能で、蒸着膜厚/レートのモニタリング及び制御が可能な水晶発振式の成膜コントローラです。
ハーフラックサイズのコンパクトなボディーながら、低レート制御や99層までの多層膜連続蒸着制御も可能です。
ハーフラックサイズのコンパクトなボディーながら、低レート制御や99層までの多層膜連続蒸着制御も可能です。
特長
- 優れた膜厚・成膜速度分解能により、成膜速度が低い場合の制御にも対応可能
- サンプリングレートが125msと速いため、レスポンスの良い制御が可能
- 最大99層までの多層膜制御が可能
- RS232Cを標準装備
- シングルセンサを2本まで接続可能（切り替え式）
- プログラム可能なデジタル入出力（各12ch）およびアナログ出力（3ch）を装備
用途
- 蒸着時の膜厚および蒸着速度の制御
仕様
| 膜厚・測定分解能 | 0.041 A (5 MHz) 0.029 A (6 MHz) |
| 膜厚表示範囲/表示分解能 | 0.000～99.99 μm(0.000～999.9 kÅ) |
| 蒸着速度表示範囲/表示分解能 | 0.01～99.99 nm/s(0.1～999.9 Å/s) |
| 対応センサ周波数 | 5MHz, 6MHz |
| 取り付け可能センサ数 |
シングルセンサ：2（同時計測は不可、切り替え式） |
| サンプリングレート | 125ms |
| 多層膜数 | 99層 |
| デポジションプログラム数 | 99 |
| デジタル入力/出力 | 入力：12chプログラマブル 出力：12chプログラマブル |
| アナログ出力 | 3chプログラマブル |
| 外形寸法 W×D×H | 240mm x 350mm x 99mm |
