水晶発振式成膜コントローラ

アルバックの水晶発振式成膜コントローラは、装置メーカーとしての豊富な技術・経験をもとに開発されました。
単層膜から多層膜まで、幅広い成膜プロセスに対応が可能です。

種類

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同時測定/制御

搭載クリスタル数

ベーキング温度(℃)

耐熱温度(℃)

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製品情報

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