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水晶板
UCR-5MAU-12
アルバック
ULVACの水晶発振式成膜コントローラ用センサに対応した水晶板UCRシリーズ。
特長
- クラス最少の輻射熱による周波数変化で、成膜中の温度特性に優れています。
- シャッタ開閉時のふらつきや熱衝撃の変化が小さく、レート安定性も良いので長寿命。
- マルチセンサ(CRTS-12NS)対応の専用ケースにより、水晶板1枚ずつの取り出しの他、工具を使わずに12枚を即座に交換する事が可能です（特許6802937号）
用途
- メタル膜
- 光学膜
仕様
| 型式 | UCR-4MAG-12 | UCR-5MAU-12 | UCR-5MAG-12 | UCR-6MAU-12 |
| 表面パターン |  |
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| 発振周波数 | 4MHz | 5MHz | 5MHz | 6MHz |
| 電極材質 | Ag（銀） | Au（金） | Ag（銀） | Au（金） |
| 電極表面 | 鏡面仕上げ | 標準仕上げ | ||
| 外形寸法 | φ12.4mm | φ14mm | ||
| 対応コントローラ | CRTM-9200 CRTM-R1（ーEL） |
CRTMシリーズ全般 | ||
| 対応センサ | CRTSシリーズ全般 | 6MHz対応センサ | ||
| 推奨用途 | 有機膜、金属膜、光学膜 | 金属膜、光学膜 | ||
| 販売・梱包形態 | 専用ケース（12枚入り） | |||
