水晶板
水晶板の導入・購入・検討について
水晶板UCRシリーズは、蒸発源などの熱源からの影響を最小限に抑え、個体差も少ないため、正確な膜厚測定に最適です。有機材料向けには、独自の特許技術で製造された4MHz水晶板を使用し、低レート制御をサポートします。これにより、精密な成膜プロセスを実現し、品質向上に貢献します。
水晶板
Model:UCR-4MAG-12
ULVACの水晶発振式成膜コントローラ用センサに対応した水晶板"Model:UCR"
周波数4MHz仕様を世界で初めてラインナップに加え、温度特性に優れ有機材料膜にも対応可能です。
