有機蒸着で最大の能力を発揮!!

水晶式成膜コントローラ Model: CRTM-R1-EL

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Model: CRTM-R1-ELの導入・購入・検討について

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Model: CRTM-R1-ELサポートページ

2022年度日本真空工業会「真空コンポーネント・部品・材料部門賞」受賞

CRTM-R1-ELは有機EL蒸着プロセスやペロブスカイト太陽電池蒸着プロセス用に最適化された水晶式成膜モニタです。
新しい測定方式を採用し、高分解能とレート安定性の大幅向上を実現しています。

特長

新しい測定方式の採用でレート安定性が大幅に向上しています。
Ability（CI値）の測定により水晶板の異常検知能力が向上しています。
最大8元同時の蒸着制御が可能です。(オプション追加時)
通信方式はEthernet及びRS-232Cに対応しています。
本体に保存した各種ログデータをCSV形式でUSBに転送可能です。
Calc-Z機能を使用すると、Z-ratioが未知の材料でも自動で計算しながら成膜する事が可能です。

用途

有機EL蒸着やペロブスカイト太陽電池蒸着プロセスでの膜厚、レート管理及び制御

仕様

周波数	測定レンジ	4.00～3.00MHz@4MHz 5.00～3.50MHz@5MHz 6.00～4.50MHz@6MHz
	測定分解能	1mHz
	表示分解能	1mHz
蒸着速度 (レート)	測定レンジ*1	0.000～999.9Å/s (0～99.99nm/s)
	測定分解能*2	0.0028Å/s @4MHz 0.0018Å/s @5MHz 0.0012Å/s @6MHz
	表示分解能*1	0.001Å/s
膜厚	測定レンジ*1	0.000～9999kÅ (0～999.9μm)
	測定分解能*2	0.0028Å @4MHz 0.0018Å @5MHz 0.0012Å @6MHz
	表示分解能*1	0.001kÅ
対応ｾﾝｻ周波数		4MHz､5MHz､6MHz
取り付け可能センサ数 (シングル)		2 (オプションにてMAX8, IF CARD: 2点/枚×4枚)
取り付け可能センサ数 (マルチ)		2 (オプションにてMAX8, IF CARD: 2点/枚×4枚)
サンプリングレート		100msec
デポプログラム数		999
プロセスプログラム数		99
デジタル入力点数		14 (オプションにてMAX56, DIO CARD: 14点/枚×4枚)
デジタル出力点数		8 (オプションにてMAX32, DIO CARD: 8点/枚×4枚)
アナログ出力点数		2 (オプションにてMAX16, IF CARD: 2点/枚×4枚 + AOカート: 8点/枚×1枚)
アナログ出力範囲		-10～+10V
通信方式		LAN (Ethernet) (1000BASE-T/100BASE-TX/10BASE-T) RS-232C USB2.0 Type-B
外形寸法(幅×奥行き×高さ)		CRTM-R1-EL: 約480×約320×約130mm CTM-EL(-D) オプション: 約80×約152×約53mm
質量 kg		CRTM-R1-EL: 5.3kg (オプションにてMAX:5.8kg) CTM-EL(-D) オプション: 0.6kg
ユーティリティ		AC 100～240V±10%, 50/60Hz
最大消費電力		150W
適合ヒューズ		250V2.5A (5×20mm 2個)
IP保護等級		IP20
過電圧カテゴリ		CAT.Ⅱ
高度条件		海抜2000m以下
汚染度		2
使用環境		温度5～40℃ 湿度20～85%RH (結露無き事) 室内のみ
保管環境		温度 -10～60℃ (非通電､結露無き事) 湿度20～85%RH (結露無き事)
ウォームアップ時間		約30分
適合規格		CE

*1: Tooling=100､Density=1設定時の値です｡
*2: 周波数分解能をTooling=100､Density=1で換算した値です｡

オプション紹介

CRTM-R1-ELをご使用の際には、別途オプションのCTM-EL(-D)＋ケーブルセット及びセンサー、導入フランジ等が必要になります。

従来型CRTMと新型CRTM-R1-ELのレート比較

CRTM-R1-ELはノイズも少なく安定しています。

【新型 CRTM-R1-EL 】

【従来型 CRTM 】

Model: CRTM-R1-ELサポートページ

特長

新しい測定方式の採用でレート安定性が大幅に向上しています。

Ability（CI値）の測定により水晶板の異常検知能力が向上しています。

最大8元同時の蒸着制御が可能です。(オプション追加時)

通信方式はEthernet及びRS-232Cに対応しています。

本体に保存した各種ログデータをCSV形式でUSBに転送可能です。

Calc-Z機能を使用すると、Z-ratioが未知の材料でも自動で計算しながら成膜する事が可能です。

仕様

周波数	測定レンジ	4.00～3.00MHz@4MHz 5.00～3.50MHz@5MHz 6.00～4.50MHz@6MHz
	測定分解能	1mHz
	表示分解能	1mHz
蒸着速度 (レート)	測定レンジ*1	0.000～999.9Å/s (0～99.99nm/s)
	測定分解能*2	0.0028Å/s @4MHz 0.0018Å/s @5MHz 0.0012Å/s @6MHz
	表示分解能*1	0.001Å/s
膜厚	測定レンジ*1	0.000～9999kÅ (0～999.9μm)
	測定分解能*2	0.0028Å @4MHz 0.0018Å @5MHz 0.0012Å @6MHz
	表示分解能*1	0.001kÅ
対応ｾﾝｻ周波数		4MHz､5MHz､6MHz
取り付け可能センサ数 (シングル)		2 (オプションにてMAX8, IF CARD: 2点/枚×4枚)
取り付け可能センサ数 (マルチ)		2 (オプションにてMAX8, IF CARD: 2点/枚×4枚)
サンプリングレート		100msec
デポプログラム数		999
プロセスプログラム数		99
デジタル入力点数		14 (オプションにてMAX56, DIO CARD: 14点/枚×4枚)
デジタル出力点数		8 (オプションにてMAX32, DIO CARD: 8点/枚×4枚)
アナログ出力点数		2 (オプションにてMAX16, IF CARD: 2点/枚×4枚 + AOカート: 8点/枚×1枚)
アナログ出力範囲		-10～+10V
通信方式		LAN (Ethernet) (1000BASE-T/100BASE-TX/10BASE-T) RS-232C USB2.0 Type-B
外形寸法(幅×奥行き×高さ)		CRTM-R1-EL: 約480×約320×約130mm CTM-EL(-D) オプション: 約80×約152×約53mm
質量 kg		CRTM-R1-EL: 5.3kg (オプションにてMAX:5.8kg) CTM-EL(-D) オプション: 0.6kg
ユーティリティ		AC 100～240V±10%, 50/60Hz
最大消費電力		150W
適合ヒューズ		250V2.5A (5×20mm 2個)
IP保護等級		IP20
過電圧カテゴリ		CAT.Ⅱ
高度条件		海抜2000m以下
汚染度		2
使用環境		温度5～40℃ 湿度20～85%RH (結露無き事) 室内のみ
保管環境		温度 -10～60℃ (非通電､結露無き事) 湿度20～85%RH (結露無き事)
ウォームアップ時間		約30分
適合規格		CE