シングルセンサ Model:CRTS-6U
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Model:CRTS-6Uの導入・購入・検討について
"Model:CRTM"に用いるセンサで、様々な蒸着装置に広くご使用頂くために豊富なラインナップを用意しております。
特長
- ベーキングの有無、使用温度などの条件によりタイプの選択可能
- コンパクトなセンサヘッドで装置内での配置が容易
- パイプ長の指定、曲げ可能の指定が可能
仕様
| 型式 | CRTS-0 | CRTS-4 | CRTS-6 | CRTS-4U | CRTS-6U | ||
| CRTS-0 | CRTS-0＋水冷ジャケット | ||||||
| 用途 | 80℃以下の蒸着 | 300℃以下の蒸着 | 100℃以下の蒸着 | 200℃以下の蒸着 | 100℃以下の蒸着 | 超高真空装置200℃以下蒸着 | |
| ベーキング | 非対応 | 非対応 | 非対応 | 非対応 | 対応 | 対応 | |
| 搭載クリスタル数 | 1 | ||||||
| 対応周波数 | 4MHz,5MHz（6MHz 詳細仕様は別途ご相談） | ||||||
| 水冷パイプ | パイプ長 | ー | 100-800mm（長さ、曲げ指定可） | ||||
| 外径 | ー | 6ｍｍ | 4ｍｍ | 6ｍｍ | 4ｍｍ | 6ｍｍ | |
| 水量 | ー | 400cc/min | 200cc/min | 400cc/min | 200cc/min | 400cc/min | |
| 接栓 | ー | 3/8インチ | 1/4インチ | 3/8インチ | 1/4インチ | 3/8インチ | |
| 導入端子 | ー | Φ30 | 無し/ICF70/Φ30 | 無し/ICF70/Φ30 | ICF70 | ICF70 | |
