シングルセンサの導入・購入・検討について
水晶式成膜コントローラ用センサCRTSシリーズのシングルセンサは、水晶板への冷却効率を最大限に高めた設計が特長です。さらに、工具を使わずに簡単に水晶板を交換できる構造により、メンテナンス時間を大幅に短縮します。これにより、成膜プロセスの効率と信頼性を向上させ、安定した運用をサポートします。
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