マルチセンサ

マルチセンサの導入・購入・検討について

水晶式成膜コントローラ用センサCRTSシリーズのマルチセンサは、複数の水晶板を搭載可能で、メンテナンス時間を大幅に削減します。水晶板の切替には、信頼性の高い真空用ステッピングモータを使用しており、精度の高い切替が可能です。有機蒸着や光学蒸着ではマルチセンサを使用し、連続成膜中に自動切換えする事が可能です。これにより、成膜プロセスの効率と精度を向上させ、安定した生産をサポートします。

マルチセンサ

Model: CRTS-M6

CRTS-M6は水晶発振式成膜コントローラ "Model:CRTM"用に開発された、ロータリ式マルチセンサです。
5MHzまたは6MHzのクリスタルが6枚搭載可能で、連続蒸着などにも安心してお使いいただくことができます。

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マルチセンサ

Model: CRTS-12NS

CRTS-12NSは水晶発振式成膜コントローラ "Model:CRTM"用に開発された、ロータリ式のマルチセンサです。
5MHzクリスタルを12枚搭載可能ですので、長時間にわたる連続蒸着などにも安心してお使い頂けます。

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