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EB電源
HPSシリーズ
HPS-1600F-DS200
アルバック
アルバックの多年にわたる技術の蓄積と実績をもとに、回路の安定化と性能の向上を図ったエレクトロンビーム蒸発源対応の電源です。
EBガンコントローラEGC-10GSと組み合わせてご使用いただくことにより、光学薄膜用EBガンおよび、金属薄膜用EBガンの両方に対応することができます。
EBガンコントローラEGC-10GSと組み合わせてご使用いただくことにより、光学薄膜用EBガンおよび、金属薄膜用EBガンの両方に対応することができます。
特長
- 冷却水不要
強制空冷方式のため冷却水が不要 - 高信頼性
装置メーカーとして蓄積したノウハウを設計にフィードバック - 簡易な操作性
操作パネルに液晶タッチパネルを採用したことにより、操作性が向上 - スイープ波形バリエーション
操作画面上で様々なビームのスキャンフォーム作成が可能 - 高速アーク遮断機能
高速アーク遮断により、蒸着レート低下を最小限に抑える回路を構成 - 低レベルアークコントロール機能（光学用途向けオプション）
光学用途で発生する微小なアークを制御し安定した蒸着が可能
用途
- 金属膜用真空蒸着
仕様
| 型式 | HPS-510S | HPS-1600F -DS100 |
HPS-1600F -DS200 |
HPS-1600F -DS101 |
|
| 入力仕様 | 入力電圧 | 3相 AC190～231V | |||
| 入力容量 | 7kVA | 21kVA | 22kVA | 21kVA | |
| 出力仕様 | 定格電力 | 5kW | 16kW | ||
| 電圧範囲 | -4k～-10kV | ||||
| リップル率 | 定格出力の±2%以下 | ||||
| ビーム電流 | 0～500mA | 0～1600mA | |||
| 冷却方式 | 強制空冷 | ||||
| 外形寸法 W×D×H |
電源 | 480×620×300mm （突起物含まず） |
500×700×710mm （突起物含まず） | ||
| ガンコントローラ | 480×480×149mm （突起物含まず） | ||||
| 質量 | 電源 | 50kg | 113kg | 136kg | 113kg |
| ガンコントローラ | 20kg | 17kg | |||
