アルバックグループの
真空蒸着用電子銃
真空蒸着用電子銃の導入・購入・検討について
EB蒸着（電子ビーム蒸着）は、電子ビームを用いて材料を加熱・蒸発させ、基板上に薄膜を形成する技術です。この技術は、高精度かつ高純度な膜の形成が可能である点が特長で、さまざまな分野で活用されています。特に、高融点材料や高純度が求められる成膜に適しており、光学、電子、装飾など、多岐にわたる産業分野で利用されています。
①光学薄膜
・レンズやミラーへの反射防止膜（ARコーティング）
・反射膜や干渉膜（例：レーザー光学部品やフィルター）
・光学素子における高精度な多層膜コーティング
②金属膜
・半導体、集積回路（IC）、パワーデバイス製造における電極膜の形成
・装飾品の表面コーティング
EB蒸着の成功の鍵は、以下のポイントを適切に管理することです：
・真空環境の管理
・電子ビームの制御
・材料および基板の品質管理
・膜厚と蒸着速度の安定化
これらを適切に管理し、安全対策を徹底することで、安定したプロセスと高品質な薄膜形成が実現できます。
ポンプ種類
電子銃
EB蒸着用の電子銃（電子ビームガン）は、電子ビームを利用して材料を加熱・蒸発させる装置です。従来の抵抗加熱に比べて高温にできるため、融点の高い材料でも効率的に蒸発させることが可能です。また、精度が高く、均一な薄膜形成ができるのも大きな特徴です。アルバックにも様々な用途に対応した電子銃（電子ビームガン）がラインナップされております。
フラットトップ_金属用電子銃_EGNシリーズ
EGNシリーズ
EGNシリーズは、反射電子吸収機構を搭載し、新たにメンテナンス性の向上に主軸を置いて開発した金属蒸着用電子ビーム蒸発源です。
フラットトップ構造の採用により、電子ビーム蒸発源への着膜面積が少なくなり、高いメンテナンス性を実現しております。
実験用_金属用電子銃_EGKシリーズ
EGKシリーズ
EGK-3型電子ビーム式蒸発源は、ULVACの多年にわたる技術の蓄積と実績をもとに、性能と信頼性の向上を計ったものです。
この蒸発源は最大投入電力5kWのハースをもっています。
るつぼ容量は2.6ccとなっており、実験用、小規模生産用に適しています。
金属用電子銃_EGLシリーズ
EGLシリーズ
電子ビーム式蒸発源EGLシリーズは、ULVACの多年にわたる技術の蓄積と実績をもとに、性能と信頼性の向上を計ったものです。
EGLシリーズは様々な種類のガンをラインナップしており、任意の多層膜蒸着、厚膜の高速蒸着、超高真空での実験用として使用いただくことが可能です。
電子銃用電源
電子銃用電源は、電子ビーム蒸着プロセスを支える重要なシステムで、以下の2つの主要な構成要素で構成されています：
・電子銃コントローラ
ビームの精密な制御を行い、蒸着材料への加熱を均一化することで、高品質な薄膜形成をサポートします。
・EB電源
電子ビームの発生に必要なエネルギーを安定的に供給し、装置の安定した動作を実現します。
電子銃用電源_HPSシリーズ
HPSシリーズ
アルバックの多年にわたる技術の蓄積と実績をもとに、回路の安定化と性能の向上を図ったエレクトロンビーム蒸発源対応の電源です。
EBガンコントローラEGC-10GSと組み合わせてご使用いただくことにより、光学薄膜用EBガンおよび、金属薄膜用EBガンの両方に対応することができます。