多用途な実験が可能な小型実験用電子銃
電子銃
実験用_金属用電子銃_EGKシリーズ
EGKシリーズ
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EGKシリーズの導入・購入・検討について
EGK-3型電子ビーム式蒸発源は、ULVACの多年にわたる技術の蓄積と実績をもとに、性能と信頼性の向上を計ったものです。
この蒸発源は最大投入電力5kWのハースをもっています。
るつぼ容量は2.6ccとなっており、実験用、小規模生産用に適しています。
この蒸発源は最大投入電力5kWのハースをもっています。
るつぼ容量は2.6ccとなっており、実験用、小規模生産用に適しています。
特長
- 容量2.6ccハースの採用により、小規模生産に適しています。
- 電子ビームは電磁場によって偏向するため、被蒸着体に与える二次電子の影響が極めて少ない。
- 昇華性の物質でもビームスポットをX軸、Y軸方向にスキャンニングさせることにより部分的な穴掘現象をなくし、るつぼ全体を円滑に蒸発させることができる。（日本国特許831485、843447号所有）
- 電子ビームは225°偏向するため、蒸発材料からの蒸気にさらされることがなく、フィラメントは長寿命です。
- エミッターアッセンブリーの脱着が容易なため、フィラメント、絶縁碍子などの交換が簡単です。
仕様
| 型式 | EGK-3 | EGK-3M | |
| 電子ビーム偏向角度 | 225° | ||
| るつぼ数 | 1 | 4 | |
| るつぼ容量 | 2.6cc | 2.9cc | |
| るつぼ寸法 上面×底面×深さ | 21Φ×15.6Φ×10H（mm） | 21Φ×17.5Φ×10H（mm） | |
| 冷却水量 | ハース | 8L/min以上 | |
| その他 | 1L/min以上 | ||
| 外形寸法（W×D×H）突起物を含まない | 110×207×126（mm） | 140×207×126（mm） | |
| 質量 | 約4kg | 約5kg | |
| 蒸着速度 | 0.5μm/min以上 （Al/5kW/ハース直上250H） |
0.6μm/min以上 （Al/5kW/ハース直上250H） |
|
| 最大加速電圧 | -10kV | ||
| 最大エミッション電流 | 0.5A | ||
| 適用電源 | HPS-510S | ||
