多くの実績を持つ汎用性の高い光学膜の生産に適した電子銃
電子銃
光学用電子銃_EGOシリーズ
EGOシリーズ
アルバック
カタログを印刷・
保存する
保存する
EGOシリーズの導入・購入・検討について
アルバックの多年にわたる技術の畜積をもとに特に光学用に開発された信頼性の高いEBガンです。
特長
- 電子ビームは電磁場によって偏向するため、被蒸着体に与える二次電子の影響が極めて少なくなっています。
- 昇華性の物質でもビームスポットをX軸、Y軸にスキャンニングさせることにより穴掘り現象をなくし、円滑に蒸発させることができます。（日本国特許831485、843447号所有）
- 電子ビームは270°偏向のため、蒸発材料からの蒸気にさらされることがなく、フィラメントは長寿命です。
- エミッターアッセンブリーの脱着が容易なため、フィラメント、絶縁碍子などの交換が簡単です。
仕様
| 型式 | EGO-1G | EGO-40M | |
| ビーム偏向角 | 270° | ||
| るつぼ数 | 0 | 4 | |
| るつぼ容量 | - | 10cc ×2 / 40cc ×2 | |
| るつぼ寸法 上面×底面×深さ | - | 32Φ×24Φ×15H （mm）/50Φ×41Φ×25H （mm） | |
| 冷却水量 | ハース | - | 10L/min以上 |
| その他 | 2L/min | - | |
| 外形寸法 W×D×H(突起物を含まない) | 166×285×174 (mm) | 170×309×174 (mm) | |
| 質量 | 約12.5kg | 約18kg | |
| 最大加速電圧 | -10kV | ||
| 最大エミッション電流 | 1.0A | 0.6A/1.0A | |
| 適用電源 | HPS-1000N-100/HPS-1000N-200 | ||
