進化した二次電子吸収機構を備えたフラットトップ電子銃
電子銃
フラットトップ_金属用電子銃_EGNシリーズ
EGNシリーズ
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EGNシリーズの導入・購入・検討について
EGNシリーズは、反射電子吸収機構を搭載し、新たにメンテナンス性の向上に主軸を置いて開発した金属蒸着用電子ビーム蒸発源です。
フラットトップ構造の採用により、電子ビーム蒸発源への着膜面積が少なくなり、高いメンテナンス性を実現しております。
フラットトップ構造の採用により、電子ビーム蒸発源への着膜面積が少なくなり、高いメンテナンス性を実現しております。
特長
- 基板へ入射する反射電子を抑制し、基板温度上昇を低減
- フラットトップ構造の採用により、電子ビーム蒸発源への着膜面積が少なく、清掃が容易
- 新エミッタ構造の採用により、 部品点数を従来比60%に削減し、組み立てが容易
- 一部の部品を変更することでリボン形状ビームとスポット形状ビームを選択可能
- 装置メーカーとして長年蓄積したノウハウをベースに設計することにより圧倒的な信頼性を実現
仕様
| 型式 | EGN-206M | EGN-406M | |
| 電子ビーム偏向角度 | 270° | ||
| るつぼ数 | 6 | ||
| るつぼ容量 | 20cc | 40cc | |
| るつぼ寸法 上面×底面×深さ | Φ42×Φ32×19(mm) | Φ50×Φ41×25(mm) | |
| 冷却水量 | ハース | 10L/min以上 | |
| その他 | 2L/min以上 | ||
| 外形寸法（W×D×H）突起物を含まない | 214×343×144（mm） | ||
| 質量 | 28kg以下 | ||
| 蒸着速度 | 1.6μm/min （リボンビーム/Al/8kW/40ccるつぼ/ハース直上250H） |
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| 最大加速電圧 | -10kV | ||
| 最大エミッション電流 | 0.8A | 1.0A | |
| 適用電源 | HPS-1000N-100/HPS-1000N-200 | ||
