多くの実績を持つ汎用性の高い金属膜の生産に適した電子銃
電子銃
金属用電子銃_EGLシリーズ
EGLシリーズ
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EGLシリーズの導入・購入・検討について
電子ビーム式蒸発源EGLシリーズは、ULVACの多年にわたる技術の蓄積と実績をもとに、性能と信頼性の向上を計ったものです。
EGLシリーズは様々な種類のガンをラインナップしており、任意の多層膜蒸着、厚膜の高速蒸着、超高真空での実験用として使用いただくことが可能です。
EGLシリーズは様々な種類のガンをラインナップしており、任意の多層膜蒸着、厚膜の高速蒸着、超高真空での実験用として使用いただくことが可能です。
特長
- 電子ビームは電磁場によって偏向するため、被蒸着体に与える二次電子の影響が極めて少なくなっています。
- 昇華性の物質でもビームスポットをX軸、Y軸にスキャンニングさせることにより穴掘り現象をなくし、円滑に蒸発させることができます。（日本国特許831485、843447号所有）
- 電子ビームは270°偏向のため、蒸発材料からの蒸気にさらされることがなく、フィラメントは長寿命です。
- エミッターアッセンブリーの脱着が容易なため、フィラメント、絶縁碍子などの交換が簡単です。
仕様
| 型式 | EGL-103S | EGL-35 | EGL-35M | EGL-110 | EGL-80M | |
| 電子ビーム偏向角度 | 270° | |||||
| るつぼ数 | 3 | 1 | 4 | 1 | 4 | |
| るつぼ容量 | 10cc | 40cc | 40cc ×2/10cc×2 | 110cc | ||
| るつぼ寸法 上面×底面×深さ | 35Φ×31Φ×11H（mm） | 50Φ×41Φ×25H（mm） | 50Φ×41Φ×25H（mm）/32Φ×24Φ×15H（mm） | 75Φ×59Φ×32H（mm） | 75Φ×57Φ×32H（mm） | |
| 冷却水量 | ハース | 10L/min以上 | 19L/min以上 | 20L/min以上 | ||
| その他 | 2L/min以上 | - | 2L/min以上 | ー | 4L/min以上 | |
| 外形寸法（W×D×H）突起物を含まない | 313×250×108（mm） | 160×206×79（mm） | 170×240×156（mm） | 136×220×90（mm） | 265×318×168（mm） | |
| 質量 | 約16kg | 約10kg | 約18kg | 約15kg | 約30kg | |
| 蒸着速度 | - | 1.8μm/min以上 （Al/8kW/ハース直上 250H） |
1.6μm/min以上 （Al/8kW/ハース直上 250H） |
4.5μm/min以上 （Al/16kW/ハース直上 250H) |
4μm/min以上 （Al/16kW/ハース直上 250H) |
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| 最大加速電圧 | -10kV | |||||
| 最大エミッション電流 | 0.6A | 1.0A | 1.6A | |||
| 適用電源 | HPS-1000N-100/HPS-1000N-200 | HPS-1600F-DS100/ HPS-1600F-DS200 |
HPS-1600F-DS101 | |||
