多くの実績を持つ汎用性の高い金属膜の生産に適した電子銃

電子銃
金属用電子銃_Model:EGL Model: EGL

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Model: EGLの導入・購入・検討について

電子ビーム式蒸発源"Model:EGL"は、ULVACの多年にわたる技術の蓄積と実績をもとに、性能と信頼性の向上を計ったものです。
"Model:EGL"は様々な種類のガンをラインナップしており、任意の多層膜蒸着、厚膜の高速蒸着、超高真空での実験用として使用いただくことが可能です。

特長

電子ビームは電磁場によって偏向するため、被蒸着体に与える二次電子の影響が極めて少なくなっています。
昇華性の物質でもビームスポットをX軸、Y軸にスキャンニングさせることにより穴掘り現象をなくし、円滑に蒸発させることができます。（日本国特許831485、843447号所有）
電子ビームは270°偏向のため、蒸発材料からの蒸気にさらされることがなく、フィラメントは長寿命です。
エミッターアッセンブリーの脱着が容易なため、フィラメント、絶縁碍子などの交換が簡単です。

仕様

Model		EGL-103S	EGL-35	EGL-35M	EGL-110	EGL-80M
電子ビーム偏向角度		270°
るつぼ数		3	1	4	1	4
るつぼ容量		10cc	40cc	40cc ×2/10cc×2	110cc
るつぼ寸法　上面×底面×深さ		35Φ×31Φ×11H（mm）	50Φ×41Φ×25H（mm）	50Φ×41Φ×25H（mm）/32Φ×24Φ×15H（mm）	75Φ×59Φ×32H（mm）	75Φ×57Φ×32H（mm）
冷却水量	ハース	10L/min以上			19L/min以上	20L/min以上
冷却水量	その他	2L/min以上	-	2L/min以上	ー	4L/min以上
外形寸法（W×D×H）突起物を含まない		313×250×108（mm）	160×206×79（mm）	170×240×156（mm）	136×220×90（mm）	265×318×168（mm）
質量		約16kg	約10kg	約18kg	約15kg	約30kg
蒸着速度		-	1.8μm/min以上（Al/8kW/ハース直上 250H）	1.6μm/min以上（Al/8kW/ハース直上 250H）	4.5μm/min以上（Al/16kW/ハース直上 250H)	4μm/min以上（Al/16kW/ハース直上 250H)
最大加速電圧		-10kV
最大エミッション電流		0.6A	1.0A		1.6A
適用電源		HPS-1000N-100/HPS-1000N-200			HPS-1600F-DS100/ HPS-1600F-DS200	HPS-1600F-DS101

特長

電子ビームは電磁場によって偏向するため、被蒸着体に与える二次電子の影響が極めて少なくなっています。

昇華性の物質でもビームスポットをX軸、Y軸にスキャンニングさせることにより穴掘り現象をなくし、円滑に蒸発させることができます。（日本国特許831485、843447号所有）

電子ビームは270°偏向のため、蒸発材料からの蒸気にさらされることがなく、フィラメントは長寿命です。

エミッターアッセンブリーの脱着が容易なため、フィラメント、絶縁碍子などの交換が簡単です。

仕様

Model		EGL-103S	EGL-35	EGL-35M	EGL-110	EGL-80M
電子ビーム偏向角度		270°
るつぼ数		3	1	4	1	4
るつぼ容量		10cc	40cc	40cc ×2/10cc×2	110cc
るつぼ寸法　上面×底面×深さ		35Φ×31Φ×11H（mm）	50Φ×41Φ×25H（mm）	50Φ×41Φ×25H（mm）/32Φ×24Φ×15H（mm）	75Φ×59Φ×32H（mm）	75Φ×57Φ×32H（mm）
冷却水量	ハース	10L/min以上			19L/min以上	20L/min以上
冷却水量	その他	2L/min以上	-	2L/min以上	ー	4L/min以上
外形寸法（W×D×H）突起物を含まない		313×250×108（mm）	160×206×79（mm）	170×240×156（mm）	136×220×90（mm）	265×318×168（mm）
質量		約16kg	約10kg	約18kg	約15kg	約30kg
蒸着速度		-	1.8μm/min以上（Al/8kW/ハース直上 250H）	1.6μm/min以上（Al/8kW/ハース直上 250H）	4.5μm/min以上（Al/16kW/ハース直上 250H)	4μm/min以上（Al/16kW/ハース直上 250H)
最大加速電圧		-10kV
最大エミッション電流		0.6A	1.0A		1.6A
適用電源		HPS-1000N-100/HPS-1000N-200			HPS-1600F-DS100/ HPS-1600F-DS200	HPS-1600F-DS101