用途に応じた蒸着を可能とする電子銃用電源
電子銃用電源
電子銃用電源_HPSシリーズ
HPSシリーズ
アルバック
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HPSシリーズの導入・購入・検討について
アルバックの多年にわたる技術の蓄積と実績をもとに、回路の安定化と性能の向上を図ったエレクトロンビーム蒸発源対応の電源です。
EBガンコントローラEGC-10GSと組み合わせてご使用いただくことにより、光学薄膜用EBガンおよび、金属薄膜用EBガンの両方に対応することができます。
EBガンコントローラEGC-10GSと組み合わせてご使用いただくことにより、光学薄膜用EBガンおよび、金属薄膜用EBガンの両方に対応することができます。
特長
- 冷却水不要
強制空冷方式のため冷却水が不要 - 高信頼性
装置メーカーとして蓄積したノウハウを設計にフィードバック - 簡易な操作性
操作パネルに液晶タッチパネルを採用したことにより、操作性が向上 - スイープ波形バリエーション
XYスキャン、WAVE EDIT、エリア別滞在ウェイト制御、サークルスキャン、サークルフォーム編集、スパイラルなど様々なビームのスキャンフォーム作成が可能※ - 高速アーク遮断機能
高速アーク遮断により、蒸着レート低下を最小限に抑える回路を構成
※HPS-510Sは除く
仕様
| 型式 | HPS-510S | HPS-1000N-100 | HPS-1000N-200 | HPS-1000N-G100 | HPS-1000N-G200 | |
| 入力仕様 | 入力電圧 | 3相 AC190～231V | ||||
| 入力容量 | 7kVA | 14kVA | 15kVA | 14kVA | 15kVA | |
| 出力仕様 | 定格電力 | 5kW | 10kW | |||
| 電圧範囲 | -4k～-10kV | |||||
| リップル率 | 定格出力の±2%以下 | |||||
| ビーム電流 | 0～0.5A | 0～1.0A | ||||
| 冷却方式 | 強制空冷 | |||||
| 外形寸法（W×D×H）（電源本体）突起物を含まない | 480×620×300（mm） | 494×701×712（mm） | ||||
| 外形寸法 （W×D×H）（ガンコントローラ）突起物を含まない | ー | 480.5×499×143（mm） | ||||
| 質量（電源本体） | 45kg | 120kg | 133kg | 120kg | 133kg | |
| 質量（ガンコントローラ） | - | 11.5kg | ||||
| 適合規格 | - | CE | ||||
| 型式 | HPS-1600F-DS100 | HPS-1600F-DS200 | HPS-1600F-DS101 | |
| 入力仕様 | 入力電圧 | 3相 AC190～231V | ||
| 入力容量 | 21kVA | 22kVA | 21kVA | |
| 出力仕様 | 定格電力 | 16kW | ||
| 電圧範囲 | -4k～-10kV | |||
| リップル率 | 定格出力の±2%以下 | |||
| ビーム電流 | 0～1.6A | |||
| 冷却方式 | 強制空冷 | |||
| 外形寸法（W×D×H）（電源本体）突起物を含まない | 500×700×710（mm） | |||
| 外形寸法 （W×D×H）（ガンコントローラ）突起物を含まない | 480.5×499×143（mm） | |||
| 質量（電源本体） | 113kg | 120kg | 113kg | |
| 質量（ガンコントローラ） | 11.5kg | 12kg | ||
| 適合規格 | - | - | - | |
